ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜の非破壊分析

はじめに

DLC膜は複数の優れた特長を持つため、身の回りのあらゆる製品に利用されています。例えば、優れた耐摩耗性、低摩擦特性から、切削工具の刃先や軸受の表面に成膜されています。また、ガスバリア性に優れることから、酸化しやすい飲料の容器内面にも使用されています。幅広く応用されているDLC膜は、使用用途に応じて、炭素の結合状態や膜中の水素濃度を調整し、膜質を変化させています。一方で、結合状態や水素濃度は膜質のばらつきの原因にもなるため、生産時や受入時にそれらを測定し、管理することが重要です。

事例紹介

赤外顕微鏡とラマン顕微鏡が一体となった「赤外ラマン顕微鏡AIRsight」は、赤外顕微鏡では分析できない炭素材料の分析が可能です。カーブフィット機能を使用することで、DLC膜の結晶性や水素濃度など、様々な視点から膜質を評価できます。
詳細は添付資料：アプリケーションニュースをご覧ください。

出典：島津製作所HP

この記事に関する参考資料

アプリケーションニュース：ダイヤモンドライクカーボンDLC膜の非破壊分析
カタログ：赤外ラマン顕微鏡AIRsight

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