隣のスペースに、3D測定レーザー顕微鏡はいかがですか

サブミクロンオーダーの微細な形状測定に

はじめに

LEXT OLS5100は、非接触・非破壊で微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。デジタルマイクロスコープの隣に一台置くと、さらに高倍率、サブミクロンオーダーの観察ができます。

機能紹介

[実験トータルアシスト]
実験計画表の作成からデータ取得・解析、分析・レポート作成までをこの1台で一括管理します。豊富な解析&レポート機能があります。

[スマートレンズアドバイザー]
表面粗さ測定に最適なレンズ選択をアシストする機能で、不適切なレンズ使用によるデータ取得を未然に防ぎ、測定結果の信頼性が向上します。

[使用環境下で測定性能を保証]
データ取得はスタートボタンを押すだけで、誰でも同じアウトプットの測定が可能です。正確性と繰り返し性などの測定性能をお客様が実際に使用される環境で保証します。

測定事例 金属表面への刻印の形状評価
◇レーザー顕微鏡LEXT OLS5100
正確な微細3Dです。レーザーマークの寸法を正確に測定できます。

◇参考 デジタルマイクロスコープDSX1000
レーザー顕微鏡よりちょっとラフな3Dに。レーザーマークの寸法を正確に測定できます。

■他の測定機との比較

出典:エビデントHP、カタログ、リーフレット

 

この記事に関する参考資料

カタログ:3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5100 _N8601992-042022.PDF

リーフレット:半導体工程 測定・観察事例.PDF

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喜んでデモを実施します。操作性、画像の見え方をぜひ確認ください。

 

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