隣のスペースに、卓上走査電子顕微鏡はいかがですか

光学像を拡大するとそのままSEM像に。そのまま視野中の元素も分かる!

はじめに

デジタルマイクロスコープの隣に一台置くと、さらに高倍率の観察や元素分析ができ、異物分析や品質管理がスピーディになります。
卓上走査電子顕微鏡(卓上SEM)JCM-7000は、「誰でもSEM/EDSを操作できる」をコンセプトとして開発されました。100Vコンセントが1個あれば稼働します。SEM用の冷却水やEDS用の液体窒素も不要です。光学像を拡大するとそのままSEM像になり、さらに拡大するとそのまま視野中の元素も表示されます。

機能紹介


■Zeromag
一つの画面上で、光学像※1から走査電子顕微鏡(SEM)像に移行します。光学像であたりをつけ、観察視野を拡大していくと、そのままSEM像に切り替わります。電気を通さない絶縁試料は、標準搭載の“低真空モード”を使えば前処理なしでSEM観察ができます。
 ※1 Zeromagの撮影にはステージナビゲーションシステム(オプション)が必要です

・試料:岩塩

・試料:顆粒(医薬品)表面に添加した滑沢剤の分布観察
画像左:光学顕微鏡では、白い顆粒(医薬品)上に添加した白い滑沢剤の付着状況を確認することは困難です。
画像右:顆粒と滑沢剤は組成が異なるため、SEMの反射電子組成像を使えば、滑沢剤の分布が一目でわかります。さらに拡大すると滑沢剤の付着状態を観察することができます。

■Live Analysis & Live Map
Live Analysisは、分析装置を立ち上げなくても観察中の視野の元素分析※2ができます。SEM観察とEDS分析を分けて考える必要がなくなる機能です。光学像→拡大→SEM像→さらに画面いっぱいに拡大すると主元素のスペクトルが表示されます。観察している領域のX線スペクトル表示と、自動定性された主成分の元素表示を、常に観察画面上で行います。
 ※2 EDS元素分析装置(オプション)が必要です。

・試料:食品に付着した黒色異物分析
Zeromag(光学像)で異物を探し、ダブルクリックして異物を中央に移動。デジタルズームで拡大していきます。ある程度拡大されると、Zeromag(光学像)に重なってSEM像が見えます。

SEM像を画面いっぱいに拡大すると主元素のスペクトルが表示されます。

・試料:合金
Live Mapを選択すると、観察視野の元素分布をリアルタイムで確認することができます。予期しない元素や注目元素を「見つける」「気付ける」確率の向上が期待できます。

Zeromag&Live Analysis YouTube(0:58)

 

■Live 3D
SEM像と3D画像をLiveで二画面表示する機能です。形状判断と同時に、深さ情報も得られます。
Live 3D YouTube(0:49)

出典:日本電子HP、カタログ、リーフレット

 

この記事に関する参考資料

・カタログ:卓上走査顕微鏡 JCM-7000 NeoScope™_NO.1504K015C.PDF

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