特長

● X1軸の最大駆動速度は最大40mm/s、Z2軸の最大駆動速度は最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。
● X1軸、Z1軸には透過型リニアエンコーダを搭載し、X1軸：5nm、Z1軸：0.8nm/1.6nmの高分解能を実現し、輸郭形状・表面粗さの一括測定に対応しています。
● Z1軸検出器にはアクティブ制御方式を採用し動的測定力の変動を押さえたワイドレンジ測定が可能です。
● X・Y軸方向2軸同時制御による斜め測定が可能です。

主な仕様

	CS-5000 CNC （標準コラム）	CN-5000 CNC （ハイコラム）	CS-H5000 CNC （標準コラム）	CN-H5000 CNC （ハイコラム）
測定力	0.75mN（標準長さスタイラス）/ 4mN（2倍長さスタイラス）
測定範囲 X軸	200mm
真直精度 X軸 （標準長さスタイラス）	（0.1+0.0015L）µm　L：駆動長さ（mm）		（0.05+0.0003L）µm　L：駆動長さ（mm）
真直精度 X軸 （2倍長さスタイラス）	（0.2+0.0015L）µm　L：駆動長さ（mm）		（0.1+0.0015L）µm　L：駆動長さ（mm）
測定範囲 Z1軸	12mm（標準長さスタイラス使用）、24mm（2倍長さスタイラス使用）
駆動範囲 Z2軸	300mm	500mm	300mm	500mm
α軸傾斜角度	-45°（反時計回り） +10°（時計回り）		ー
ベースサイズ（W×D）	750×600mm