取扱製品 Product

測定顕微鏡 STM7 Series

測定サンプルが小さくても、大きくても。測定内容がシンプルでも、複雑でも。測定者が初めて使う人でも、使いなれた人でも。 "あなた"の測定に“フィット”する測定顕微鏡。それがオリンパスのSTM7シリーズです。

メーカー

オリンパス/OLYMPUS

特長

<顕微鏡と測定器の融合>

  • 顕微鏡としての観察性能
    最先端の光学顕微鏡に搭載されるUIS2無限遠補正光学系を採用。高解像・高コントラスト、収差を徹底的に排除した観察像が微細で高精度な測定をサポートします。
  • 測定値の信頼性を高める石定盤ベースの台座
    STM7では測定精度を追究した、石定盤ベースの高剛性・ 高耐震性台座を採用しました。重量のある安定したフレームボディが、誤差の少ないサブミクロンの高精度測定を実現し ています。
  • 使い易く高精度な3軸測定を提供し続けてきた高さ測定のパイオニア
    モノづくりの微細化・精密化が進むなか、XYの平面測定にとどまらず、高精度なZ測定が必要とされています。測定顕微鏡のために追従式によるオートフォーカスを実現したオリンパスは、高さ測定のパイオニアとして、その性能にさらに磨きをかけています。
  • 厳格なトレーサビリティーから生まれる信頼の系譜
    オリンパスの測定顕微鏡は厳格なトレーサビリティーの基に精度管理されています。設置場所での校正についても、オリンパスがサポートいたします。

<ステージ>

  • 最大測長ストローク300mm x 300mm
    ユニークな正方形ストロークのステージを3タイプ用意しました。小型から大型サンプルまで、大きさに合わせて選択できます。
  • 正方形ストロークが測定の悩みを解決
    正方形ストロークの300mmステージなら、300mmウエハやプリ ント基板などの大型サンプルも、X軸とY軸の測長ストロークが同じ なので向きを変えずに測定できます。
  • クラッチで粗微動を素早く切り換え
    クラッチ方式の採用により粗微動をすばやく切り換えることができ ます。Xライン上やYライン上のスピーディなステージ送り、XY平面上の自在なステージ送りが可能になります。

<光学系>

  • 一台の顕微鏡で測定対物レンズ、金属対物レンズに対応
    測定対物アダプタで測定対物レンズ、レボルバで金属対物レンズの使用が可能。一台の測定顕微鏡で測定対物光学系、金属対物光学系に対応できます。段差の大きな測定か、広範囲か微小領域の測定か、観察方法をどうするかなど様々なニーズにSTM7が柔軟に対応します。

<測定顕微鏡の操作>

  • オペレーションユニット
    STM7は様々な機能を追加しても、1つのオペレーションユニットで、カウンタリセット、調光、焦準、AFなど測定顕微鏡のほとんどの操作が可能に なります。自由に配置して片手で快適に操作してください。
  • コントロールユニット
    各ユニットの電源、通信を1台のコントロールボックスに集約できます。フォーカスナビゲータなど様々なオプション機能を追加しても広い作業空間を確保できます。
  • Z軸は手動と電動タイプをラインアップ
    ピント合わせのための上下動操作は、手動タイプと電動タイプが用意されています。ステージサイズに左右されることなく、サンプルや測定内容に応じて好みのモデルを選択できます。すべてのフレームにZ軸のリニアスケールが内蔵され、3軸測定に対応します。

<ライトマネージャー>

  • 明るさを定量的に把握できるデジタル表示
    STM7は、測定値のバラツキに繋がる照明の明るさをデジタルに表示します。明るさを定量的に把握することができるので、常に同じ照明条件で観察することが可能です。
  • 対物切換時の明るさ調整不要
    コードレボルバとの組合せではライトマネージャーが使用できます。 対物レンズ毎に照明の方法と明るさを登録でき、測定時は対物レンズの切り換えに連動して自動的に照明方法・明るさが調整されます。 倍率を切り換える度に行っていた明るさ調整をする必要がなくなります。

<カウンタ>

  • 現在の設定状態が一目で確認できるカウンタ
    カウンタには装置の状態を示すインジゲータが付属しているので、現在の装置の設定状態を簡単に認識することができます。 0.1μm/1μmの最少表示桁数の切り換えやmm、μm、inch、milの 表示単位切り換えが行えます。

<高さ測定:フォーカスナビゲータ>

  • 再現性に優れたシンプルで精確なフォーカスシステム
    視野内にパターンを投影し、上下パターンのズレを合わせることで、繰り返し性の良い高さ測定が可能になります。通常の目視による高さ測定では、ピントが合っているように見えても僅かな誤差が生じます。フォーカスナビゲータは指標を合わせる測定をするので、オペレータによる測定結果のバラツキを抑えることができます。STM7はプリズムによる上下の像がズレる方式ではなく投影された指標のみがズレるので、見やすくピント合わせが容易です。

<高さ測定: オートフォーカスユニット>

  • 誰が行っても素早く正確なフォーカシングや測定を実現
    再現性が良く、合焦速度が早いSTM7専用オートフォーカスユニットを開発しました。オペレータの経験に関わらず、短時間で高精度な高さ測定が可能です。

<測定支援システム>

測定顕微鏡のアウトプットを表示する部分だからこそ、より見やすく、より使いやすく。より高精度、より複雑な測定をサポートする測定支援ソフトウェアSTM7-BSWとSTM-ASW-ME、そしてデジタルカメラを用意しました。

  • 測定支援ソフトウェア: STM7-BSW
    -サンプルを載せたら直ぐに測定を開始、平行出しは不要
    -決まった測定手順をティーチングリストに登録
    -測定結果のバラツキを解消する機能を搭載
    -報告書の作製に便利な機能を搭載
  • 貼合わせ・拡張焦点オプションソフトウェア:STM7-ASW-ME
    -画像貼り合わせ(MIA):複数枚の画像を貼り合わせ、1枚の高倍率かつ広域画像を作成します
    -拡張焦点(EFI):Z軸を動作させながら焦点位置が異なる複数枚の画像を処理し、 全ての位置で焦点が合った1枚の画像を作成します。

<推奨組合わせ>

本体型式 STM7-SF STM7-MF STM7-LF STM7-MFA STM7-LFA
ステージ
X mm × Y mm
STM7-CS100
100mm×100mm
STM7-CS200
200mm×200mm
STM7-CS300
300mm×300mm
STM7-CS200
200mm×200mm
STM7-CS300
300mm×300mm
Z軸駆動方式 手動 手動 電動
観察方法 標準 BF or BF/DF BF or BF/DF BF or BF/DF
オプション DIC、POL DIC、POL DIC、POL
測定対物レンズ / 明視野
フォーカスナビゲーター
/ STM7-FN
オートフォーカス
/ STM7-AF
測定支援ソフトウェア
/ STM7-BSW
測定支援ソフトウェア
/ STM7-ASW-ME

※ 観察方法<BF:明視野><DF:暗視野><DIC:微分干渉><POL:偏光>
※ 上記 □はオプション

仕様

<手動モデル>

ステージ大きさ 小型ステージ 中型ステージ 大型ステージ
顕微鏡
本体
本体型式 STM7-SF STM7-MF STM7-LF
フォー
カス
上下動範囲 175mm 145mm
観察可能
最大高さ
測定対物:120mm
金属対物:175mm
測定対物:90mm
金属対物:145mm *1
Z軸測定
分解能
0.1um
Z軸駆動
方式
手動粗微動共軸ハンドル
LED照明 白色:落射用 緑色:透過用
鏡筒 MM6-ETR-1-5
正立三眼鏡筒(100:0/0:100)
接眼レンズ(視野数22) MM6-OCC10X(クロス入り)、MM6-OC10X
対物
レンズ
明視野用 MM6C-KMAS
照明系
U-5RES-ESD
レボルバ
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金属対物レンズ
明暗視野用 MM6C-RLAS
照明系
U-5BDRES-ESD
レボルバ
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金属対物レンズ
LED
ユニット
白色(落射用) MM6-ILW
緑色(透過用) MM6-ILG
ステージ 型式 STM7-CS100 STM7-CS200 STM7-CS300
測定範囲 X軸 100mm、Y軸 100mm X軸 200mm、Y軸 200mm X軸 300mm、Y軸 300mm
測定精度 (3+2L/100) μm (3+4L/200) μm (3+6L/300) μm
最大積載可能質量 6kg 10kg 15kg
カウンタ 型式 STM7-DI
軸数 3軸
単位 μm / mm / inch / mil
最小分解能 0.1um
コントロール
ボックス
STM7-CB
ハンドスイッチ STM7-HS
電動オペレー
ションユニット
STM7-MCZ
接続ケーブル
受台 STM7-VI
電源ケーブル UYCP
外形寸法(W×D×H)mm 466 x 583 x 651 606 x 762 x 651 804 x 1024 x 686
質量(kg) 約84kg 約152kg 約277kg
定格 100-120/220-240V
– 50/60Hz  0.3A/0.2A
100-120/220-240V
– 50/60Hz  0.3A/0.2A
100-120/220-240V
– 50/60Hz  0.3A/0.2A

<電動モデル>

 ステージ大きさ 中型ステージ 大型ステージ
顕微鏡
本体
本体型式  STM7-MFA STM7-LFA
フォー
カス
上下動範囲 175mm 145mm
観察可能
最大高さ
測定対物:120mm
金属対物:175mm
測定対物:90mm
金属対物:145mm *1
Z軸測定
分解能
0.1um
Z軸駆動
方式
モータ駆動による電動

  • FOCUSボタン:移動スピード8mm/sec(MAX)
  • 粗微動ハンドル: 1回転当たりの移動量(目安)を4段階で選択可能 800μm、400μm、100μm、50μm
LED照明 白色:落射用 緑色:透過用
鏡筒 MM6-OCC10X(クロス入り)、MM6-OC10X
接眼レンズ(視野数22) MM6-OCC10X(クロス入り)、MM6-OC10X
対物
レンズ
明視野用 MM6C-KMAS
照明系
U-5RES-ESD
レボルバ
MPLFL5X,10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金属対物レンズ
明暗視野用 MM6C-RLAS
照明系
U-5BDRES-ESD
レボルバ
LMPLFLN5XBD、10XBD,20XBD、50XBD、100XBD
金属対物レンズ
LED
ユニット
白色(落射用) MM6-ILW
緑色(透過用) MM6-ILG
ステージ 型式 STM7-CS200 STM7-CS300
測定範囲 X軸 200mm、Y軸 200mm X軸 300mm、Y軸 300mm
測定精度 (3+4L/200) μm (3+6L/300) μm
最大積載可能質量 10kg 15kg
カウンタ 型式 STM7-DI
軸数 3軸
単位 μm / mm / inch / mil
最小分解能 0.1um
コントロール
ボックス
STM7-CBA
ハンドスイッチ
電動オペレー
ションユニット
STM7-MCZ
STM7-MCZ
接続ケーブル
U-IFCBL200
受台 STM7-VI
電源ケーブル UYCP
外形寸法(W×D×H)mm 606 x 762 x 811 804 x 1024 x 844
質量(kg) 159kg 284kg
定格 00-120/220-240V  50/60Hz 0.6A/0.35A 100-120/220-240V  50/60Hz 0.6A/0.35A

<対物レンズ作動距離(mm)>

対物レンズ倍率 1 x 3 x 5 x 10 x 20 x 50 x 100 x
測定対物レンズ MM6-OBシリーズ 59.6 76.8 65.4 50.5
金属対物レンズ MPLFLNシリーズ 明視野 20.0 11.0 3.1 1.0 1.0
LMPLFLNシリーズ 長作動距 22.5 21.0 12.0 10.6 3.4
MPLFLN-BDシリーズ 明暗視野 12.0 6.5 3.0 1.0 1.0
LMPLFLN-BDシリーズ 明暗視野、長作動距離 15.0 10.0 12.0 10.6 3.3

<測定支援システム仕様>

コントローラ オペレーティングシステム Microsoft Windows 10 Pro(64bit)
ソフトウェア 測定支援ソフトウェア STM7-BSW
(貼合わせ・拡張焦点オプションソフトウェア STM7-ASW-ME)
動作確認済みアプリケーション Microsoft Office 2010/2013/2016(32bit)
モニタ WUXGA(1980 x 1080)LCDモニタ
対応カメラ 型式 DP27 DP22 STM7-CU
撮像素子 2/3 型カラーCCD 1/1.8 型カラーCCD 1/2型カラー CMOS
画像サイズ 1920 x 960 / 2448 x 1920 960 x 720 / 1920 x 1440 1024 x 768 / 2048 x 1536
フレームレート 30fps(1920 x 960)
15fps(2448 x 1920)
25fps 11.2fps(最大)
インターフェイス USB3.0 USB3.0 USB2.0
カメラヘッド質量 約160g 約160g 約41g

注釈
■ ご注意 ■
このページに記載されている製品・仕様・価格は改良等のため予告無く変更、あるいは製品製造を中止する事があります。ご購入に際しましては販売価格も含め改めて最新情報を弊社営業よりご確認下さい。

製品登録年月

2021-01

産業種別

  • 航空・宇宙開発
  • 金属製品
  • 電子・デバイス
  • 電気製品
  • 自動車
  • 鉄道・貨物
  • 測定・計測

測定項目または機能

  • 精密測定
  • 微小測定

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