特長

● 顕微鏡としての観察性能
最先端の光学顕微鏡に搭載されるUIS2無限遠補正光学系を採用。高解像・高コントラストな観察像が微細で高精度な測定をサポートします。

● 測定値の信頼性を高める石定盤ベースの台座
ステージには測定精度を追究した、石定盤ベースの高剛性・高耐震性台座を採用しました。重量のある安定したフレームボディが、誤差の少ないサブミクロンの高精度測定を実現しています。

● 使い易く高精度な3軸測定を提供
モノづくりの微細化・精密化が進むなか、XYの平面測定にとどまらず、高精度なZ測定が必要とされています。測定顕微鏡のために追従式によるオートフォーカスを実現したエビデントは、高さ測定のパイオニアとして、その性能にさらに磨きをかけています。

主な仕様

型式		手動モデル			電動モデル
		小型ステージ STM7-SF	中型ステージ STM7-MF	大型ステージ STM7-LF	中型ステージ STM7-MFA	大型ステージ STM7-LFA
顕微鏡本体 フォーカス	上下動範囲	175mm		145mm	175mm	145mm
	観察可能最大高さ	測定対物 ： 120mm 金属対物 ： 175mm		測定対物 ： 90mm 金属対物 ： 145mm ※1	測定対物 ： 120mm 金属対物 ： 175mm	測定対物 ： 90mm 金属対物 ： 145mm ※1
	Z軸測定分解能	0.1µm
	Z軸駆動方式	手動		電動
ステージ	測定範囲（X × Y）	100mm × 100mm	200mm × 200mm	300mm × 300mm	200mm × 200mm	300mm × 300mm
	最大積載可能質量	6kg	10kg	15kg	10kg	15kg

※1　大型本体STM7-LF / STM7-LFA使用時、光軸から180mm以上奥まった位置では高さ100mm以下の測定物が搭載可能。