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取扱製品 Product

デジタルマイクロスコープ DSX1000

デジタルマイクロスコープは、接眼レンズを使用しない代わりにデジタルカメラを搭載して、観察対象をモニター上に映し出し観察するものです。観察画像を複数の担当者で同時に確認できるため、情報を迅速かつ容易に共有できます。 品質管理・保証部門や、製品開発部門におけるさまざまな解析業務では、製品の品質や欠陥・不具合分析の要求がますます厳しくなるとともに、作業の効率化が求められており、デジタルマイクロスコープのニーズが高まっています。デジタルマイクロスコープは、電子デバイスなど微細加工品から金型などの大型部品の検査に至るまで、さまざまな観察・検査・分析をスピーディーに実現します。

メーカー

：エビデント/EVIDENT

特長

<多様な観察ニーズに応える4つのモデル>

  • エントリーモデル
    デジタルマイクロスコープの基本機能を凝縮
  • チルトモデル
    チルトフレームでサンプルをさまざまな角度から観察
  • 高解像モデル
    長作動距離と高解像を両立、微細な対象物もクリアに観察
  • ハイエンドモデル
    対象物の全体像を把握する、フリーアングル観察
モデル エントリー チルト 高解像 ハイエンド
電動ズームヘッド スタンダードズームヘッド ユニバーサルズームヘッド

  • DIC: 微分干渉
  • 焦点深度UP
  • 3CMOS モード
観察方法BF：明視野 / DF：暗視野 / OB：偏斜 / MIX：MIX / POL：偏光
顕微鏡フレーム 正立フレーム チルトフレーム
（±90°）		 正立フレーム チルトフレーム
（±90°）
ステージ 手動XYステージ 電動 電動 θ回転機構付き
電動XYステージ
（±90°）
コンソール × ○ ○ ○

<対応レンズ>

倍率のラインアップはもちろん、作動距離、NA（開口数）、解像度にこだわった光学レンズメーカー独自開発の17種類のレンズをご用意しています。 「これまで見えなかったものが見える」「今すぐ見たい」を実現します。

  • 超長作動距離対物レンズ:作動距離を重視
    金型・金属部品などの凹凸の 大きいサンプルの観察に適しています。
  • 高解像度・長作動距離対物レンズ:作動距離と解像度を両立
    電子回路の基板など、作動距離の長さと解像度の 高さ両方が求められるサンプルの観察に適しています。
  • 解像度を徹底したレンズ
    半導体・ウエハーなど、より高い解像度が 求められるサンプルの観察に適しています。

<マクロからミクロまで、マルチ対応力>

半導体ウエハーから金型まで、薄型や凹凸のあるサンプルもこの1台で

  • 20～7,000倍の観察倍率を実現し、マクロからミクロ領域まで幅広く観察できます。
  • 観察の自由度を向上させる斜め観察や、ステージをθ回転させることによりサンプルをさまざまな角度から観察できます。

<全倍率で測定精度保証>業界初！

正確さと繰り返し性をダブルで保証

  • すべてのレンズに歪みや像の大きさの変化が少ないテレセントリック光学系を採用。高精度な画像計測を可能にしました。
    専門の技術者がお客様先で校正を実施。校正証明書、検査成績書も発行することが可能です。
  • 繰り返し性能の保証とオートキャリブレーション機能により、信頼性の高い解析・測定結果が簡単に得られます。

<画像解析ソフトウェア>

エビデントの画像解析ソフトウエア OLYMPUS Streamは、DSX1000シリーズと組み合わせて使用することにより、画像処理、計測、解析、レポート作成までのすべての作業をきめ細かくサポートします。

仕様

モデル エントリーモデル チルトモデル 高解像モデル ハイエンドモデル
本体 DSX10-SZH DSX10-UZH
光
学
系		 光学方式 テレセントリック光学系
ズーム比 10X　 （対物レンズ1 本におけるズーム比）
ズーム変倍方法 電動
キャリブレーション 自動
レンズアタッチメント 全レンズ装着可、ワンタッチ脱着・対物レンズ識別機能付
最大総合倍率 7,000X（モニター上・光学）
作動距離（W.D.） 66.1mm – 0.35mm
精度保証（X-Y面）*1 正確さ*1：±3%　/　繰り返し性 3σn-1：2%
精度保証（Z軸） *2 繰り返し性 σn-1：1μm
カ
メ
ラ		 撮像素子 1/1.2 inch、235万画素CMOS
冷却 ペルチェ冷却
フレームレート 最大 60fps
標準 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
高精細モード ー 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
超高精細モード ー 3600 × 3600 (1: 1) / 4800 × 3600 (4: 3)
光
源		 種類 LED
寿命 60,000h（設計値）
観
察
法		 BF（明視野） 標準
偏斜 標準
DF（暗視野） 標準（LEDリング照明の4分割が可能）
MIX（明視野+暗視野） 標準 （BF+DFの同時観察）
PO（簡易偏光） 標準
DIC（微分干渉） ー 標準
コントラストUP 標準
焦点深度UP機能 ー 標準
透過照明 標準*3
焦
準
部		 駆動方式 電動
Zストローク 101mm（電動）
ステージ部 U-SIC4R2 DSX10-MTS DSX10-RMTS
電動 / 手動 手動ステージ 電動ステージ 回転機能付き電動ステージ
XY ストローク 100mm × 105mm 100mm × 100mm ストローク優先モード：
100mm × 100mm
回転優先モード :
50mm × 50mm
回転角度 ー ストローク優先モード :
±20°
回転優先モード : ±90°
回転角度表示 ー あり（GUI）
耐荷重 1kg 5kg 5kg
フレーム部 DSX-UF DSX-TF DSX-UF DSX-TF
Z ストローク 50mm（手動）
フリーアングル角度 ー ±90° ー ±90°
フリーアングル角度表示 ー あり（GUI） ー あり（GUI）
フリーアングル方式 ー 手動、
固定/解除ハンドル		 ー 手動、
固定/解除ハンドル
測定 全タイプ共通
測定項目 平面測定
プロファイル測定
段差測定
面積/体積測定
線粗さ解析
面粗さ解析
エッジ測定（オプション）
粒子解析（オプション）
モニター部 23型　LCDモニター（全タイプ共通）
画素数 1,920 × 1,080
その他  
質量 約43.7kg 約46.7kg 約43.7kg 約46.7kg
（本体、電動ステージ、LCDモニター、コントローラー）
定格 100 – 120V / 220 – 240V、1.1 / 0.54A、50 / 60Hz

＜レンズ部＞

　　型式 DSX10-SXLOB DSX10-XLOB UIS2
対
物
レ
ン
ズ		 最大標本高さ 50mm 115mm 145mm
最大標本高さ
（フリーアングル観察時）		 50mm
同焦距離 140mm 75mm 45mm
レンズアタッチメント レンズ一体型 あり
総合倍率 20X – 1,400X 42X – 5,600X 23X*4 – 7,000X
視野サイズ 19,200µｍ – 270µｍ 9,100µｍ – 70µｍ 17,100µｍ – 50µｍ
アダプター 拡散照明アダプター（オプション）
偏光照明アダプター（オプション）		 ー
レンズアタッチメント 1本（レンズアタッチメント
とレンズ一体型）		 2本
対物レンズケース 3つのレンズアタッチメントを収納可能

注釈
*1 装置校正はエビデントサービススタッフによる校正作業が必要となります。 XYの正確さの保証には、DSX-CALS-HR(キャリブレーションサンプル)を用いた校正作業が必要となります。校正証明書の発行には、エビデントサービススタッフによる校正作業が必要となります。
*2 20X以上の対物レンズを使用した場合。
*3 オプションのDSX10-ILTが必要となります。
*4 MPLFLN1.25X使用時の総合倍率
※ このページに記載されている製品・仕様・価格は改良等のため予告無く変更、あるいは製品製造を中止する事があります。ご購入に際しましては販売価格も含め改めて最新情報を弊社営業よりご確認下さい。

製品登録年月

2021-01

産業種別

  • 航空・宇宙開発
  • 鉱業・採石
  • 繊維
  • 紙・パルプ
  • 化学製品
  • 石油製品
  • プラ製品
  • ゴム製品
  • 窯業
  • めっき
  • 金属製品
  • 電子・デバイス
  • 電気製品
  • 自動車
  • 鉄道・貨物
  • 測定・計測

測定項目または機能

  • 微小測定
  • 微小観察

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