特長

● 半導体ウエハーなどの薄型・微細なサンプルも、金型もこの1台で

• • 23～8,220倍の観察倍率を実現し、マクロからミクロ領域まで幅広く観察できます
  • 被写界深度が深く観察距離も長い対物レンズにより、凹凸のあるサンプルも苦にしません
  • 観察の自由度を向上させる斜め観察、θ回転によりサンプルをさまざまな角度から観察できます
  • サンプルの全体像を把握する フリーアングル観察システム

● 瞬時に欠陥を見つけ出す、マルチアプローチ

• • すべてのレンズ・倍率で多彩な観察方法に適応、欠陥の見落としを防ぎます
  • 観察方法・倍率の切り替えはコンソール操作でワンタッチ操作。作業効率もアップします

● 全倍率で測定精度保証。正確さと繰り返し性をダブルで保証

• • すべてのレンズに歪みや像の大きさの変化が少ないテレセントリック光学系を採用。高精度な画像計測を可能にしました
  • 繰り返し性能の保証とオートキャリブレーション機能により、信頼性の高い解析・測定結果が簡単に得られます

● ISO/IEC17025認定校正対応

• • ILAC（国際試験所認定協力機構）による相互認証MRAのシンボル付き校正証明書の発行が可能です

主な仕様

ヘッド部		DSX10-SZH	DSX10-UZH
光学系	光学方式	テレセントリック光学系
	最大総合倍率	8220×
	作動距離（W.D.）	66.1 – 0.35 mm
観察法	BF（明視野）	標準
	偏射	標準
	DF（暗視野）	標準　LEDリング照明の4分割が可能
	MIX（明視野+暗視野）	標準　BF + DFの同時観察
	PO（簡易偏光）	標準
	DIC（微分干渉）	―	標準
	コントラストUP	標準
	焦点深度UP機能	―	標準
	透過照明	標準 ※

※ オプションのDSX10-ILTが必要となります。