取扱製品 Product
微細穴三次元形状測定機 FP-Labo
「微細穴」の「未知の世界」を「非破壊で可視化」
メーカー
：小坂研究所/Kosaka Laboratory
特長
- 微小な挙動を高精度で検出する画期的な検出制御系を開発。
- 微細穴φ10 μm～／深さ～300 μmの穴内部形状を測定、可視化。
- 高分解能10 nm、低測定圧0.1 μN以下を実現。
- 接触による破損から解放される高弾性ファイバスタイラス使用。
- 穴の内径/外径/深さ、溝の内幅/外幅/深さ、壁面を計測可能。
- 真円度、円筒度、直径、段差、溝幅、直角度等、 多様な解析機能有。
- レシピ作成により自動測定可能。
仕様
| 名称 型式 | 微細穴三次元形状測定機 FP-Labo |
|---|---|
| 最小測定穴径 | φ10 μm～ |
| 最大測定長 | 300×300×300 μm |
| 測定分解能 | 10 nm |
| 測定力 | 0.1 μN以下 |
| 移動軸st.（X,Y,Z) | 50×50×52 mm |
| 最大サンプルサイズ | φ160 mm t=50 mm |
| 径寸法の繰り返し | 1σ 0.1 μm (φ20スタイラスで基準穴を測定した径寸法差) |
| 設置環境クリーン度 | ISO クラス５推奨 |
| 装置寸法W.D.H. | 1,355×1,060×1,745 mm |
| 質量 | 約400 kg |
注釈
■ ご注意 ■
このページに記載されている製品・仕様・価格は改良等のため予告無く変更、あるいは製品製造を中止する事があります。ご購入に際しましては販売価格も含め改めて最新情報を弊社営業よりご確認下さい。
製品登録年月
2022-12
産業種別
- 航空・宇宙開発
- 新エネルギー
- プラ製品
- 金属製品
- 機械
- 電気機械
- 電気製品
- 自動車
測定項目または機能
- 微小三次元測定
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