細穴測定機
FP-Labo / FP3030

小坂研究所

シリコン貫通電極・各種ノズル穴やMEMS等、直径5µmの極小径の光ファイバの接触式プローブを用いることにより、以上の穴や溝内部微細形状を数nmの分解能で非破壊測定できます。

主な仕様

情報提供元: 株式会社小坂研究所

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