細穴測定機
FP-Labo / FP3030
小坂研究所
シリコン貫通電極・各種ノズル穴やMEMS等、直径5µmの極小径の光ファイバの接触式プローブを用いることにより、以上の穴や溝内部微細形状を数nmの分解能で非破壊測定できます。
主な仕様
FP-Labo | FP3030 | |
最小測定穴径 | Φ10µm~ | |
最大測定長 | 300×300×300µm | |
測定分解能 | 10nm | |
測定力 | 0.1µN以下 | |
移動軸st.(X,Y,Z) | 50×50×52mm | 305×370×52mm |
最大サンプルサイズ | Φ160mm t=50mm | Φ300mm t=50mm |
メーカー製品URL:
https://www.kosakalab.co.jp/product/precision/smallhole/
情報提供元: 株式会社小坂研究所
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
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