取扱製品 Product
微細形状測定機 ET200A-D
二次元表面粗さ解析及び段差測定に最適で、高精度・高分解能・優れた安定性を実現、また、微少測定力で軟質試料面にも対応しています。
メーカー
：小坂研究所/Kosaka Laboratory
特長
- 表面性状解析及び段差測定に最適
- 高精度・高分解能・優れた安定性を実現
- ＦＰＤ基板・ウエハー・有機ＥＬ等の微細形状、段差、粗さ測定が可能
- 直動式検出器を搭載、微少測定力で軟質試料面測定にも対応
 観察画像 |
 測定結果-二次元（例） |
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標準組合わせ |
オプション |
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仕様
| 型式 | ET200A-D | |
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| 最大サンプルサイズ | φ160×厚さ52mm | |
| サンプルステージ | ステージの大きさ | φ160mm |
| 傾斜調整範囲 | ±2°（±5mm / 160mm）Ｘ・Ｙ手動 | |
| 最大積載質量 | 2kg | |
| 検出器 | 測定力 | 10μN ～ 500μN（1mgf～50mgf） |
| 測定範囲 | 600μm（0.1nm / 分解能） | |
| センサ | 差動変圧器 直動式 | |
| 触針 | R2μm、頂角60°、材質：ダイヤモンド | |
| Ｘ軸 | 駆動距離 | 100mm |
| 真直度精度 | 0.2μm / 100mm以下 | |
| 駆動速度 | 0.005～20mm / sec | |
| 位置決め再現性 | ±5μm（ティーチング位置決め時） | |
| Ｙ軸 | 駆動距離 | 25mm |
| 真直度精度 | 3μm / 25mm以下 | |
| 駆動速度 | 2mm / sec | |
| Ｚ軸 | 移動量 | 54mm |
| 自動停止機能 | 有り | |
| Θ軸（手動回転） | 粗動360°/ 微動±5° | |
| 表示倍率 | 縦倍率 | AUTO、50～2,000,000倍 ※標準はAUTO表示 |
| 横倍率 | AUTO、1～10,000倍 ※標準はAUTO表示 | |
| 補助機能（i-STAR31） | 再演算 / 単位切替(㎛、Åの切換可能) / 自動測定(複数回連続測定及び自動下降、測定・記録上昇、戻り動作) / 表示倍率固定機能 / 一括印刷(5プロファイル毎) / 複数段差測定(指定点の編集可能) / ステップ(測定位置確認)機能 / 統計解析・保存(平均、最大、最小、標準偏差) / 自動段差解析 / ファイル自動保存 / プロフィールデータのテキスト形式保存 / リアルタイム波形表示 | |
| 観察装置 | カメラ | カラー 1/3インチCCD |
| 総合倍率 | 約320倍(19インチモニター[1024×768]使用時) | |
| 観察方向 | 斜視右側 | |
| 移動方法 | 手動/検出器と独立で上下 | |
| モニタ部 | ビデオキャプチャーボードによりウインドウ表示 | |
| 再現性 | 1σ 0.3nm以内（小坂研究所規格） | |
| 電源 | 単相 AC90 ～ 240V・50/60Hz・300VA | |
| 測定部の大きさ・重さ | Ｗ500×Ｄ440×Ｈ630mm（突起、取手等含まず）・約120kg | |
| 対応言語 | 日本語 / 英語 | |
注釈
このページに記載されている製品・仕様・価格は改良等のため予告無く変更、あるいは製品製造を中止する事があります。ご購入に際しましては販売価格も含め改めて最新情報を弊社営業よりご確認下さい。
製品登録年月
2022-12
産業種別
- 航空・宇宙開発
- 新エネルギー
- 化学製品
- 石油製品
- プラ製品
- 窯業
- めっき
- 金属製品
- 電子・デバイス
- 自動車
- 鉄道・貨物
測定項目または機能
- 微細形状測定
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