取扱製品 Product

半導体カーブトレーサ CS-8000シリーズ

多彩なユニットの組み合わせで、あらゆる工程における特性評価に最適で、次世代の半導体測定に対応します。

最大5kVの高電圧ソース、2000Aの大電流ソースを搭載し、パルス出力・ゲートパターン・微小電流測定機能を備えており、SiC、GaN等ワイドバンドギャップ半導体の設計評価を強力にサポートします。

メーカー

岩崎通信機/IWATSU

特長

使いやすいUI

 

12.1インチTFT-LCD(1,280×800)の高精細・大画面ディスプレイ搭載を搭載し、タッチスクリーンによる操作に加え、フロントパネル上のファンクションキー、機能毎に独立したノブで直感的な操作が可能です。

①X-Y表示エリア

任意の電圧/電流パラメータをそれぞれX軸Y軸に設定でき、Vds Id特性、スレッショルド電圧、Vds-Vgs飽和特性等、様々な半導体特性カーブの表示が可能です。また、Y軸に複数のパラメータを設定できます。スケールは、Log/リニアの切り替えが可能です。

④コンフィグレーション設定エリア

デバイスの測定コンフィグレーションを設定します。電圧/電流ユニットの選択や配線変更等をグラフィカルな表示でサポートします。

②Y-T表示エリア

測定印加波形をオシロスコープのように時間軸で表示します。パルス幅・測定ポイント・発振などの波形異常等をリアルタイムで確認できるので、正確な測定が行えたかの検証を容易に行えます。 全ての印加波形データはX-Y表示のデータと同時に保存できるので、測定結果の再検証を行うことができます。

⑤パラメータ設定エリア

測定パラメータ・測定リミットの設定やマニュアル/自動測定の切り替えなどをこのエリアで行います。

③測定データ表示エリア

詳細な測定結果と測定条件、ステータスをテキスト形式で表示します。

⑥USB端子

USBメモリに波形や設定を保存することが出来ます。

上記①X-Y表示、②Y-T表示、③測定データ表示の3つのエリアは表示のON/OFFやサイズの変更ができ、測定に応じて見やすくアレンジすることが出来ます。

また3つのエリアはリンクして表示されます

⑦操作パネル

正面パネルにボタンとロータリーノブが配置されており、マニュアル測定を簡単に行えます。 中央に配置されたテンキーでは、パラメータの数値入力を行うことができます。 DRAIN/COLLECTOR・GATE/BASE・垂直軸・水平軸ロータリーノブによりマニュアル測定を簡単に行うことができます。


用途に合わせた出力ソース

用途に合わせて測定に必要な電圧・電流ユニットを任意に選択できます。 右写真は、 上段:テストフィクスチャ 下段:ハイカレントユニット

■ HVユニット

2kV、5kVの高電圧ユニットです。DC/パルス波が選択可能です。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。

メインユニット CS-8200 CS-8500
最大電圧(最大電流) 2 kV
(20 mA)
5 kV
(8 mA)
波形 DC、パルス
極性 正/負
測定電流分解能 250 fA
最大電圧(最大電流) 200 V(2 A)
波形 DC(200 mA)、パルス(2 A)、
SIN、半波、全波
極性 正/負/両極性
測定電流分解能 250 fA

■ MVユニット (全メインユニット共通)

200Vの中電圧ユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SIN、半波、全波波形が選択できます。

■ GATEユニット (全メインユニット共通)

40Vのユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SINが選択できます。

最大電圧(最大電流) 40 V(1 A)
波形 DC、パルス、SIN
極性 正/負/両極性
測定電流分解能 250 fA
HC
ユニット
CS-205 CS-210 CS-220
最大電流
(電圧)
500 A
(50 V)
1 kA
(50 V)
2 kA
(50 V)
波形 パルス
パルス幅 10μs~1ms 10μs~500μs
極性 正/負

■ HCユニット

大電流モード搭載により、2000Aまでの大電流測定に対応できます。パルス幅、測定周期、測定範囲が可変できます。


最小電流分解能 250 fA

トライアキシャルの採用と測定系の最適化等により、機器内のリークやノイズを低減したため、微小電流の安定した測定が可能です。


多彩なGATE信号出力

GATE信号をシーケンス出力し、印加することができます。
ホールドタイム可変範囲 0.000[s] ~ 5.000[s]
予備信号電圧範囲 GATE側 -40[V] ~ +40[V]


ヒステリシスの測定

CS-8000はヒステリシスを持ったSiCやGaNなどのワイドバンドギャップ半導体の測定に便利な機能を備えています。ダブルスイープ機能はUPスイープ・DOWNスイープを同時表示するためヒステリシスの観測が可能です。


安全機構

インターロック機能に加え、出力リミット機能を備えています。電圧・電流・電力、それぞれのリミット値を設定でき、DUTの損傷を防ぐことができます。 また、ハードウェアの過電流保護機能により、測定レンジの1.4倍の電流が流れると電流を遮断します。


組み合わせ構成

測定ターゲットの電圧と電流に合わせてHCユニットやフィクスチャを選択できます。

■構成例 (2 kV、2,000 Aで使用する場合)

メインユニット CS-8200 アクセサリケーブル
HCユニット CS-220 HV標準ケーブルセット CS-021
テスト・フィクスチャ CS-322HV/HC HC標準ケーブルセット CS-022

仕様

メインユニット モデル名 CS-8020 CS-8200 CS-8500(TBD)
HVユニット
最大ピーク電圧(最大電流) 2 kV(20 mA) 5 kV(8 mA)
測定電圧レンジ(フルスケール) 50 V ~ 2 kV 50 V ~ 5 kV
測定電流レンジ 50μA ~ 20mA 50μA ~ 20mA
最小測定電流分解能 250 fA 250 fA
波形 DC・パルス DC・パルス
MVユニット
最大ピーク電圧(最大電流) 200 V(2 A)
測定電圧レンジ(フルスケール) 200 mV ~ 200 V
測定電流レンジ 5nA ~ 2A
最小測定電流分解能 250 fA
波形 DC(200 mA)、 パルス(2 A)、 SIN、半波、全波
GATEユニット
最大ピーク電圧(最大電流) 40 V(1 A)
測定電圧レンジ(フルスケール) 1 V ~ 50 V
測定電流レンジ 5 nA ~ 1 A
最小測定電流分解能 250 fA
波形 DC・パルス・SIN(50 Hz)
標準付属品 電源ケーブル、コントロールインタフェース終端器、取扱説明書(冊子+CD)
HCユニット モデル名 CS-205 CS-210 CS-220
最大ピーク電流(最大電圧) 500 A(50 V) 1,000 A(50 V) 2,000 A(50 V)
波形 パルス
パルス幅 10 μs ~ 1 ms 500Aレンジ以下:10μs ~1 ms
1000A/2000A:10μs~ 500μs
標準付属品 電源ケーブル、HC-FIXTURE接続ユニット、取扱説明書
※ HCユニットをご使用の場合は、別途センスケーブルが必要となります。
テスト・フィクスチャ モデル名 CS-320MV(近日発売予定) CS-322HV/HC
標準付属品 電源ケーブル、標準リードセット(CS-005 1式7本組)、取扱説明書
HV/HCケーブル (2本)
※ テスト・フィクスチャを接続する場合は、別途ケーブルが必要となります。

<ケーブルセット(テスト・フィクスチャやHCユニットへの接続時に使用します。)>

ケーブルセット名 型番 品名
CS-020
MV標準ケーブルセット
(CS-320用推奨セット)
CS-026 トライアキシャルケーブル(L=1.0 m) 7本
CS-027 コントロールインタフェースケーブル(L=1.0 m) 1本
CS-028 インターロック/センスケーブル(L=1.0 m) 1本
CS-021
HV標準ケーブルセット
(CS-322用推奨セット)
CS-025 HVケーブル(L=1.0 m) 2本
CS-026 トライアキシャルケーブル(L=1.0 m) 7本
CS-027 コントロールインタフェースケーブル(L=1.0 m) 1本
CS-028 インターロック/センスケーブル(L=1.0 m) 1本
CS-022
HC標準ケーブルセット
(HCユニット用推奨セット)
CS-027 コントロールインタフェースケーブル(L=1.0 m) 1本
CS-028 インターロック/センスケーブル(L=1.0 m) 1本

注釈
このページに記載されている製品・仕様・価格は改良等のため予告無く変更、あるいは製品製造を中止する事があります。ご購入に際しましては販売価格も含め改めて最新情報を弊社営業よりご確認下さい。

製品登録年月

2021-03

販売開始年月

2021-02

産業種別

  • 電子・デバイス
  • 電気製品
  • 自動車

測定項目または機能

  • 半導体特性

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