表面洗浄度パーティクルモニタ

株式会社インテクノス・ジャパン / 表面清浄度パーティクルモニタ PartSens

クリーンルームには、エアパーティクルカウンタでは測定が困難な５µｍ以上の「粗大粒子」が存在します。それら粒子はやがて落下・堆積し、製造環境のあらゆる表面の清浄度を低下させ、ヒトやシステムにより接触・運搬されることで再分散し、汚染が進行します。一度堆積した「粗大粒子」は、気流による制御が困難であるため、「適切な清掃プログラム」を確立し、効果的な清掃を実行しなければなりません。

PartSensは、クリーン製造環境のあらゆる表面に存在する「粗大粒子」の大きさと数を瞬時に測定し、それらを反射性粒子、非反射性粒子、繊維に分類するポータブル表面清浄度パーティクルモニタです。

《 測定方法 》
専用のテープリフトパッド（別売・消耗品）を測定対象表面にあて、専用台にセットします。その上に測定プローブを置き、スタートボタンを押すと数秒で結果表示します。これにより、ヒト・ウエア・設備・部材・ツールなどの平坦でない表面の清浄度測定が可能です。
清掃や洗浄など、汚染対策の前後で表面付着異物を捕集し、測定値を比較することで、その対策を評価することができます。

出典 ： インテクノス・ジャパン HP

カタログ ： クリーンルームの監視・改善技術_202304