プラズマクリーナー
Vシリーズ

ヤマト科学

2段式大型タイプ、クリーニングからエッチング処理まで

特長

● RIE・DPの両モードを搭載しています。
● V1000X型は独立型の2段電極の採用により、処理効率がアップします。
● プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能です。
● 高精度マッチングユニット、信頼性の高いRF電源を採用しています。

型式	V1000	V1000XS
プラズマモード	DP/RIE	DP/RIE
高周波電源	13.56MHz	13.56MHz
出力（MAX）	1,000W	1,000W
電極　有効ステージ寸法	幅280×奥行280mm　平行平板	幅400×奥行375mm　平板（多目的）
反応ガス	マスフローコントロール2系統（パージガス系別途付き）
真空ポンプ（標準装備）排気量	約1,000L/min	1,000＆1,500L/min
安全装置	ドアSW､側板インターロック､非常停止SW､温度過昇防止器

情報提供元: ヤマト科学株式会社

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