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• 

  小型蒸着装置

  DEPOXシリーズ

  アルバック

• 

  紫外線洗浄・改質装置

  OC-250615（6）X / OC1801C10X

  ヤマト科学

• 

  プラズマアッシャー

  PBシリーズ

  ヤマト科学

• 

  プラズマドライクリーナー

  PDCシリーズ

  ヤマト科学

• 

  小型プラズマ装置

  PM100

  ヤマト科学

• 

  小型プラズマ装置

  PRシリーズ

  ヤマト科学

• 

  スパッタリング装置

  RFS-201

  アルバック

• 

  小型蒸着装置

  VPC-1100

  アルバック

• 

  スパッタリング装置

  VTR-151M/SRF

  アルバック

• 

  プラズマクリーナー

  Vシリーズ

  ヤマト科学