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小型プラズマ装置
PRシリーズ

ヤマト科学

小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで

特長

● RFは200Wの高性能出力タイプです。
● 装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。
● 同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。

主な仕様

型式 PR200 PR300 PR301
方式 DP方式バレル型
高周波出力 Max.200W Max.300W
発振周波数 13.56MHz
同調方式 オートマッチング 手動2軸同調方式
反応槽 パイレックス
Φ100×L160mm
3室超硬質ガラス
Φ64×160mm×3室
パイレックス製
Φ118×160mm
反応ガス系 1系統(酸素)フローメータ
制御系 手動リークバルブ 自動減圧、自動リークバルブ
内寸法(径×奥行) Φ100×160mm Φ64×160mm Φ118×160mm
外寸法(幅×奥行×高さ) 350×400×500mm 438×520×556mm 438×520×630mm
電源容量 AC100V 14A AC100V 7A
重さ 25kg 36kg 34kg

メーカー製品URL:
https://www.yamato-net.co.jp/product/category/science/plasma/plasma-modifier/pr_s/

情報提供元: ヤマト科学株式会社

・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
 また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。