小型プラズマ装置
PRシリーズ
ヤマト科学
小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで
特長
● RFは200Wの高性能出力タイプです。
● 装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。
● 同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。
主な仕様
型式 | PR200 | PR300 | PR301 |
方式 | DP方式バレル型 | ||
高周波出力 | Max.200W | Max.300W | |
発振周波数 | 13.56MHz | ||
同調方式 | オートマッチング | 手動2軸同調方式 | |
反応槽 | パイレックス Φ100×L160mm |
3室超硬質ガラス Φ64×160mm×3室 |
パイレックス製 Φ118×160mm |
反応ガス系 | 1系統(酸素)フローメータ | ||
制御系 | 手動リークバルブ | 自動減圧、自動リークバルブ | |
内寸法(径×奥行) | Φ100×160mm | Φ64×160mm | Φ118×160mm |
外寸法(幅×奥行×高さ) | 350×400×500mm | 438×520×556mm | 438×520×630mm |
電源容量 | AC100V 14A | AC100V 7A | |
重さ | 25kg | 36kg | 34kg |
メーカー製品URL:
https://www.yamato-net.co.jp/product/category/science/plasma/plasma-modifier/pr_s/
情報提供元: ヤマト科学株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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