プラズマドライクリーナー
PDCシリーズ
ヤマト科学
研究開発に最適な小型タイプ
特長
● RIEモード・DPモード（PDC510標準装備・PDC200 / 210オプション）を搭載しています。
● プラズマは均一性に優れた平行平板の電極構造を採用しています。
● 操作が簡単なタッチパネル方式を使用し、データ取りも容易です。
● ゼロ点安定性真空計を搭載しています。
主な仕様
| 型式 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| プラズマモード | RIE（DPモードオプション） | RIE/DP 切替器付 | |
| 電極構造 | 平行平板（電極間固定） | ||
| 高周波出力 | MAX.300W | MAX.500W | |
| 発振周波数 | 13.56MHz 水晶発振 | ||
| ステージ寸法 | 幅250×奥行170mm | 幅400×奥行200mm | |
| 反応ガス（パージガス） | 2系統、アルゴン、酸素他（窒素、またはドライエア） | ||
| 反応ガス流量制御 | フローメータ | マスフローコントローラ | |
| 真空ポンプ | 別途 | ロータリー真空ポンプ （約345L/分） 標準装備 |
ロータリー真空ポンプ （約500L/分） 標準装備 |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 540×600×600mm | 700×700×1285mm | |
| 電源 | 単相AC100V 50/60Hz 10A | 三相AC200V 50/60Hz 6A | 三相AC200V 8A |
メーカー製品URL:
https://www.yamato-net.co.jp/product/category/science/plasma/gas-plasma-dry-cleaner/pdc/
情報提供元: ヤマト科学株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。