特長

● アッシングに最適なDP方式のバレル型です。
● PB600型はパーソナルユース仕様になります。PB1000S型は大型チャンバーを装備しています。
● 簡単な設定で、自動運転が可能です。
● 安全機能を充実、非常スイッチ付きです。

主な仕様

型式	PB600	PB1000SN
プラズマモード	DP（ダイレクトプラズマ）
電極構造	対向電極方式（分割方式）
高周波出力	60～600W連続可変 ただし常用は500Wまで	100～1,000W連続可
発振周波数	13.56MHz　水晶発振
反応室内寸法	径250×長さ350(400) mm	径300(350～450)×長さ500(550) mm
反応ガス（パージガス）	O₂、CF₄他（N₂ / ドライエアー）
流量計	2系統　マスフローコントローラ　※1
真空ポンプ	ロータリ真空ポンプ（過負荷保護機構付）約300L/min	ロータリ真空ポンプ 約1,000L～/min
外寸法（幅×奥行×高さ） ※2	500×700×720mm	640×850×1695mm
電源容量	三相 200V 20A	三相　200V 30A

※1　PB1000SNはデジタル表示（CF₄ 0～300sccm、O₂ 0～1,000sccm）
※2　電源部・真空ポンプ部除く