小型蒸着装置
VPC-1100
アルバック
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵抗加熱式で高速型の真空蒸着装置です。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
● ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
● メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
● 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
● EB仕様への変更で高融点材料の成膜が可能です。
主な仕様
| 型式 | VPC-1100 |
| 蒸発源 | 3点切替式抵抗加熱蒸発源 |
| 基板推奨サイズ | □50mm |
| 基板最大サイズ | □220mm ※ 膜厚分布を考慮しない場合 |
| 到達圧力 | 1.3 × 10⁻⁴Pa（液体窒素使用時） |
| メインポンプ | 油拡散（水冷） |
| 補助ポンプ | 油回転 |
| 操作系 | 手動操作 |
情報提供元: 株式会社アルバック
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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