小型蒸着装置
DEPOXシリーズ
アルバック
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置です。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
● ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
● メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
● 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着（最大4層）が可能です。
● キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
主な仕様
| 型式 | VFR-200M/ERH | VWR-400M/ERH | VTR-350M/ERH | VTS-350M/ERH |
| 蒸発源 | 1点式抵抗加熱蒸発源（標準仕様） | |||
| 基板推奨サイズ | □50mm | |||
| 基板最大サイズ | □140mm ※ 膜厚分布を考慮しない場合 | |||
| 到達圧力 | 8.0 × 10⁻⁴ Pa | 4.0 × 10⁻⁴ Pa | ||
| メインポンプ | 油拡散（空冷） | 油拡散（水冷） | ターボ分子 | ターボ分子 |
| 補助ポンプ | 油回転 | 油回転 | 油回転 | スクロール |
| 操作系 | 手動操作 | |||
情報提供元: 株式会社アルバック
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。