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半導体パラメータ・アナライザ
4200A-SCS

テクトロニクス&フルーク

4200A-SCS型を使用することで、半導体デバイス、材料、プロセス開発の研究、信頼性 / 障害解析を効率的に実行できます。
高性能パラメータ・アナライザは、電流-電圧(I-V)測定、容量-電圧(C-V)測定、超速パルスI-Vの同期測定が行えます。

特長

● 高速で信頼性の高いパラメータ解析
高度な電気的特性評価が、これまでになく簡単になりました。4200A-SCS型パラメータ・アナライザを使用すると、セットアップから特性評価テストの実行までの時間を最大50%短縮できるだけでなく、信頼性の高い優れた測定 / 解析機能を利用できます。さらに、テスト・ガイダンスなど、セルフ・ラーニング・ツールを内蔵しているため、誰にでも信頼性の高い測定結果が得られます。

● 正確なC-V特性評価
ケースレーの最新の静電容量 / 電圧ユニット(CVU)である4215-CVU型では、わずか1桁のフェムトファラドを測定できます。1VAC電源をケースレーの業界をリードするCVUアーキテクチャに統合することで、4215-CVU型は1kHz~10MHzの周波数で低ノイズの静電容量測定を実現しています。

● 測定、スイッチ、繰り返し
4200A-CVIV型マルチスイッチを使用すると、配線を変更したり、プローバ・チップを持ち上げることなく、I-V測定とC-V測定を自動的に切り替えられます。競合製品と異なり、4チャンネル・タイプの4200A-CVIV型はディスプレイを装備しており、手元で詳細な情報が確認できるため、予期しない測定結果になった場合でも、すばやくテストをセットアップし、簡単にトラブルシューティングできます。

● 安定した低電流測定によるI-V特性評価
4201-SMU型、4211-SMU型モジュールを使用することで、大きな負荷容量で安定した低電流測定が行えます。4200A-SCS型は4種類のソース・メジャー・ユニット(SMU)パッケージが選択できるため、I-V測定のニーズに合わせて柔軟にカスタマイズできます。ケースレー製品は、フィールド・インストールが可能なユニットやプリアンプ・モジュールが用意されているため、ダウンタイムを抑えながら、高精度な低電流測定を確実に行えます。

メーカー製品URL:
https://www.tek.com/ja/products/keithley/4200a-scs-parameter-analyzer

情報提供元: 株式会社テクトロニクス&フルーク

・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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