特長

● 自動観察
レーザーの光軸調整と観察中の条件設定、画像処理を自動化。従来のSPMでは慣れが必要だった光軸調整と観察中の条件設定、画像処理を自動化することで、ストレスフリーな観察をサポートします。

● 高機能
光学顕微鏡からSPMまで鮮明に捉える。光学顕微鏡でターゲットを探し、簡単にSPMで拡大観察ができます。また、表面形状像と同一視野で別の物性情報を取得可能です。

● 時間短縮
多彩なサポート機能で迅速な観察を実現。観察と物性マッピングを高速化することで、観察時間を大幅に短縮しました。簡単な試料交換とカンチレバー交換で、観察前準備も素早く行うことができます。

主な仕様

分解能	XY：0.2 nm Z：0.01 nm
SPMヘッド	変異検出系：光源 / 光てこ / 検出器 光源：レーザーダイオード 検出器：フォトディテクター
スキャナ	最大走査範囲（X・Y・Z） 標準：10 µm × 10 µm × 1 µm オプション：30 µm × 30 µm × 5 µm オプション：125 µm × 125 µm × 7 µm オプション：55 µm × 55 µm × 13 µm オプション：2.5 µm × 2.5 µm × 0.3 µm
試料ステージ	試料最大形状 ：Φ50mm×8mm Φ50mmの場合は試料の中心部のみ観察可能 試料交換方式：試料ステージ駆動方式 試料固定方式：マグネットによる固定 最大可動範囲：X･Y：±5mm Φ40mm以下の試料をスキャナ中心に設置した時
Z軸粗動機構	最大可動範囲：10 mm（電動）
光学顕微鏡観察	総合倍率：約220倍～ 1300倍 （21.5インチモニタに最大表示した場合） 粗動：XY：手動　Z：電動（自動フォーカス機能あり） 照明：同軸落射照明（自動調光機能あり）
ステータスインジケータ	表示：動作状態を色別に表示
除振機構	方式：ゲルダンパをユニットに内蔵