特長

● 観察時間を短縮する ハイスループットスキャナ
新しく開発したHTスキャナにより、従来より5倍以上の早さ（島津製作所比）で表面形状の観察が可能になりました。スキャナは簡単に交換できるため、従来のスキャナを使用できます。また、既存のSPM-9700にHTスキャナを追加することで装置のハイスループット化が可能です。

● ヘッドスライドメカニズム（高安定性 & ハイスループット）
光てこ系とカンチレバーが一体となったヘッドで、スライドさせるだけで試料の交換が可能です。レーザー光の照射を中断せず交換できるので、交換後もレーザー照射は高い安定性を維持しています。光軸調整などレーザー照射の中断に伴う作業がないため、分析時間も短縮できます。

● カンチレバーマスター （カンチレバー取り付け治具）
カンチレバーを滑り台に沿って動かすだけで、取り付けを確実に行えます。

主な仕様

観察モード	標準	コンタクト ダイナミック 位相 水平力（LFM） フォースモジュレーション
	オプション	磁気力（MFM） 電流 表面電位（KFM）
分解能	XY	0.2 nm
	Z	0.01 nm
AFMヘッド	変位検出系	光源 / 光てこ / 検出器
	光源	レーザーダイオード（On / Off可能） 試料交換中もカンチレバーに対して連続照射
	検出器	フォトディテクター
スキャナ	駆動素子	チューブ型ピエゾ素子
	最大走査範囲 （X・Y・Z）	10µm×10µm×1µm　（標準） 30µm×30µm×5µm　（オプション） 125µm×125µm×7µm　（オプション） 55µm×55µm×13µm　（オプション） 2.5µm×2.5µm×0.3µm　（オプション）
ステージ	試料最大形状	φ24mm×8mm
	試料交換方式	変位検出系とカンチレバーが一体となったヘッドスライド機構 カンチレバーを装着した状態で交換可能
	試料固定方式	マグネットによる固定
Ｚ軸粗動機構	方式	ステッピングモーターによる全自動機構 試料の厚みにかかわらず全自動
	最大可動範囲	10mm
信号表示パネル	表示量	検出器への総入射光量（デジタル表示）
除振機構	除振台	SPMユニットに内蔵
光学顕微鏡観察	方式	ビームスプリッタスライド方式
専用風防	方式	不要または雰囲気制御チャンバー使用
雰囲気制御	方式	SPMユニットを改造なしでチャンバーへ導入可能