特長

● 高分解能

• •  FM方式の採用
  •  大気中・液中でのノイズを従来比1/20に低減
  •  真空型SPMの性能を大気中・液中で実現
    従来のSPM（走査型プローブ顕微鏡） / AFM（原子間力顕微鏡）は、一般にAM（振幅変調）方式ですが、FM（周波数変調）方式は、原理的に高感度測定法であり、より高い分解能での撮像が可能となります。
    SPM ： Scanning Probe Microscope
    AFM ： Atomic Force Microscope
    AM ： Amplitude Modulation
    FM ： Frequency Modulation

● 操作性の向上
HTスキャナの搭載により、観察エリアが拡大、さらに高速に！デュアルモニター、信号表示機能により、フレキシビリティが格段に向上！

● 水和・溶媒和構造の観察
水和・溶媒和を計測する際の、カンチレバーが受ける力の変動は非常に小さいため、超高感度なFM方式により初めて計測することが可能となりました。Z-X断面の水和・溶媒和構造計測だけでなく、Z-XYの三次元構造解析も可能です。HR-SPMは表面観察だけではなく、固液界面の構造解析装置に進化します。

主な仕様

分解能	XY：0.2 nm　Z：0.01 nm
SPMヘッド	変位検出系	光源 / 光てこ / 検出器
	光源	レーザーダイオード （635 nm，5 mWmax，On / Off可能） 試料交換中もカンチレバーに対して連続照射
	検出器	フォトディテクター
	変位換算ノイズレベル	20fm/√Hz以下
スキャナ	駆動素子	チューブ型ピエゾ素子
	最大走査範囲	10 µm × 10 µm × 1 µm（X・Y・Z）
ステージ	試料最大形状	Φ38 mm × 8 mm
	試料交換方式	ヘッドスライド機構
	試料固定方式	マグネットによる固定
	XYステージ	10 mm × 10 mm
Z軸粗動機構	方式	ステッピングモーターによる全自動機構
	最大可動範囲	10mm
光学顕微鏡	CCD	素子サイズ：1/3インチ 有効画素数：1024×768
	レンズ	作動距離：65mm 光学倍率：4倍
	照明	同軸落射照明
除振機構	除振台	SPMユニットに内蔵