特長

● レーザー顕微鏡の基本原理
3D測定レーザー顕微鏡は、カラー撮像光学系とレーザー共焦点（コンフォーカル）光学系の2系統の光学系を備えており、色情報、形状情報と高精細画像を同時に取得することが可能です。

● あらゆる表面の真の形状を捉える
OLS5100 では、独自の先進技術を搭載し、 全てのコンポーネントをOLS5100 専用設計とすることで、 あらゆる表面の真の形状を捉えることを可能としました。 お客様の厳しい要求に応え、誰もが納得できる、 説得力のあるデータを提供いたします。

1.  視野の全領域を正しく捉える OLS5100専用レンズ
2.  急斜面の形状も逃さず捉える 4Kスキャンテクノロジー
3.  取得データの信頼性を自動判定する スマートジャッジ

● 最高のデータを、かつてないスピードで
新開発の先進アルゴリズムにより、測定結果の精度の向上と測定スピードの向上という相反するニーズの両立を実現。これにより、検査と解析時間の大幅な短縮、さらに生産性の向上にも貢献いたします。

1.  高速かつ高精度な測定を実現 PEAKアルゴリズム
2.  無駄を省いて効率的な測定ができる スキップスキャン

● スタートボタンを押すだけで、誰でも同じアウトプット
OLS5100 では、長年の技術やノウハウを結集し、オペレーターのスキルに依存した調整作業を自動化。誰でもバラツキのない、正確な測定結果がスピーディーに得られます。

1.  スタートボタンを押すだけで高精度データを取得 スマートスキャン
2.  オペレーターに左右されず同じ測定結果が得られる かんたん解析
3.  繰り返し測定でもスピーディー 解析テンプレート

● 諦めていたサンプルも今すぐ測定可能
お客様からの多くの声を反映し、レーザー顕微鏡の守備範囲を大きく広げました。拡張フレームにより、最大高さ210 mm までのサンプルを、超長作動距離レンズにより、最大25 mm の深さまでステージに載せるだけで今すぐ測定が可能です。

1.  最大高さ210 mmのサンプルに対応 拡張フレーム
2.  高い測定性能とサンプルまでの長い距離を両立 OLS5100専用長作動距離レンズ
3.  最大25 mmの凹部測定可能 超長作動距離レンズ