特長

● ディレイラインディテクター（DLD）システム
ディレイライン技術を応用した次世代の新検出器システムを採用しました。この検出器をスペクトルとイメージ双方の測定に用います。どちらの測定モードにおいても正確なパルスカウンティングが可能となりました。
スペクトルモードでは、100チャンネル同時検出による高感度測定に加え、アナライザーのエネルギーをスキャンせずにナロースペクトルを瞬間的に測定できるスナップショットモード測定が可能となりました。
イメージングモードにおいては、256×256画素によるイメージング分解能3μm以下の高分解能イメージング測定が可能です。

● パラレルイメージングと微小部スペクトル
軌道半径165 mmの大型静電半球アナライザーとイメージング専用球面鏡アナライザー（Kratos特許）を組み合わせたハイブリッドアナライザーを採用しています。化学状態分析、深さ方向分析などのスペクトル分析時は、大型の静電半球アナライザーを使用してエネルギー分解能の良いスペクトルを高感度に測定します。マルチポイント微小部測定はインプットレンズ内の光電子ディフレクションシステムを使用し、正確なポイント分析を可能とします。
パラレルイメージ測定時は球面鏡アナライザーを使用します。3µm以下の空間分解能を持つ光電子イメージが、スペクトル測定時と同様のエネルギー分解能で、しかも非常に短時間で得られます。

● 全自動試料ハンドリング機構
オプティカルエンコーダーを採用したリニアモーションドライブにより、スムーズで正確な試料移動を実現しました。試料台は直径約110 mmの大型試料台を採用し、それを3枚まで予備排気室にストックできます。3枚の試料台は無人運転中であっても全自動で交換することが可能です。