特長

● 完全なオートメーション
試料ハンドリングと装置セッティングの完全コンピューター制御によるフルオートメーションを実現しました。試料ホルダーの自動導入と自動交換のみならず、角度分解測定からスパッタデプスプロファイリングまでを、長時間多試料無人測定のルーチンに組み込むことが可能です。

● 球面鏡アナライザーと静電半球アナライザー
イメージングとスペクトロスコピーそれぞれに専用のアナライザーを備えています。高速で空間分解能の高いパラレルイメージングと、マクロ分析でも高いエネルギー分解能を実現するシステムです。イメージング空間分解能は、1ミクロンに達しました。

● ディレイラインディテクター（DLD）システム
100以上のチャンネルを備える高感度2次元検出器により、精細なXPSイメージングに加え、高速なスナップショットスペクトル測定が可能です。

● 磁場レンズ
光電子捕集効率の高い磁場レンズは、微小部領域の測定感度向上に貢献します。