電子線マイクロアナライザ（Electron Probe Microanalyzer）
EPMA-8050G
島津製作所
SEM観察条件から1µAオーダーに至るまで、全てのビーム電流条件でかつてない卓越した空間分解能が得られる最新鋭のFE電子光学系を搭載。島津伝統の高性能X線分光器との融合により、その分析能力は究極と言えるまでに進化しました。まさに “The Grand EPMA” と呼ぶにふさわしい、最高峰のEPMAの誕生です。
特長
● かつてない卓越した空間分解能
EPMAとして最高レベルの二次電子像最高分解能 3nm（加速電圧30kV）。分析条件でナンバーワンの二次電子像分解能。（加速電圧10kVにおいて、20nm@10nA / 50nm@100nA / 150nm@1µA）
● 超高感度分析を可能にする大ビーム電流
最大ビーム電流3.0µA（加速電圧30kV）を実現。全てのビーム電流範囲で対物絞り交換必要なし。
● 高性能4インチX線分光器を最大5台搭載可能
他の追従を許さないX線取り出し角度52.5度。高感度と高分解能を両立するローランド円半径4インチ。
同タイプのX線分光器を最大5台搭載可能。
情報提供元: 株式会社島津製作所
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