特長

● あらゆる材料の表面物性評価、硬度測定、弾性率測定に
DUH-211 / DUH-211Sは、従来のくぼみの対角線長さを測定するのではなく、負荷と押しこみ深さの関係をリアルタイムに計測し表面物性を評価します。押しこみ深さは自動的に測定されますので、個人誤差無く、金属材料を始めとして、薄膜，表面処理層，微小電子部品，プラスチック、ゴム、セラミックスなど、あらゆる材料の表面物性評価に威力を発揮します。
また、本装置は押し込み硬度評価のみならず、最近注目されている押し込み試験による表面物性評価への対応を目的として開発しました。これによりISO14577-1（計装化押し込み硬さ試験）におけるマルテンス硬さ、押し込み弾性率、仕事量、クリープ評価（Annex A）※に対応した評価が行えます。

※ ISO14577-1
Metallic materials – Instrumented indentation test for hardness and materials parameters – part1：Test method
Annex A：Materials parameters determined from the force/indentation depth data set
（高温システム、電動XYZステージシステムにつきましては、別途お問合せください。）

• •  ISO 14577-1（計装化押し込み硬さ）におけるマルテンス硬さおよび材料パラメータ（Annex A）に対応した評価が可能
  •  圧子先端形状、装置剛性の補正を行い、精度の良い弾性率評価が可能
  •  0.1mNという低試験力から1960mNという広い試験力範囲に対応
  •  0.1nmの高分解能で深さ計測が可能
  •  負荷試験だけでなく、負荷除荷試験、繰り返し試験など目的により7種類の試験方法が可能
  •  ビッカース試験に対応（ビッカース測定キットはオプション）

● 対象試料
蒸着膜、半導体材料などの薄膜、表面処理層、プラスチック、ゴム、金属、微細繊維、ガラス、セラミックスなどの脆性材料、微小電子部品