測定顕微鏡
MM-400N / 800N シリーズ

ニコン

正確な測定を可能にする堅牢構造
ニコンの優れた精密加工 / 光学技術と高い拡張性により高さ測定やサンプルサイズ、デジタル画像測定などさまざまなニーズに応じた組合せが選択できます。

特長

● 正確な測定を実現
堅牢な構造で長期間高精度で繰り返し性の高い測定結果が得られます。高い剛性により※300×200mm ストロークのステージが搭載可能です。※ MM-800N専用です。

● 多彩なアクセサリーによる高い拡張性
豊富なアクセサリーをラインアップ。アクセサリーを適切に組み合わせることで、効率的で最適な測定プロセスを実現します。

● 外部機器との通信を可能にするインターフェース
測定支援システムE-MAXとの通信で、システム制御と測定結果のデータ処理がソフトウェア上で実行可能。画像測定に重要な照明条件が保存でき、人的誤差を低減します。

● 高さ測定の精度を向上するフォーカスエイド（FA）
鮮明なパターンによりZ 軸の正確なピント合わせが可能。対物レンズの焦点深度による高さ測定誤差を低減できます。サンプルに合わせて明暗2 種類のパターン切替えが可能です。

	MM-800Nシリーズ	MM-400Nシリーズ
接眼レンズ	CFWN10X（視野数20）
対物レンズ倍率（作動距離）	測定顕微鏡専用対物レンズ 1X（79mm）、3X（75mm）、5X（64mm）、10X（48mm）、20X（20mm）、50X（15mm）、100X（4mm）
ステージ ※	MHS 12x8C、MHS 10x6B、MHS 8x6B、MHS 6x4B、MHS 4x4B、MHS 2x2B	MHS 6x4B、MHS 4x4B、MHS 2x2B
被検物最大高さ	200mm	150mm

※ MM-800NにステージMHS 6x4B、MHS 4x4B、MHS 2x2Bを取り付ける場合、ステージアダプターが必要です。

情報提供元: 株式会社ニコン

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