白色光干渉計搭載画像測定機
Quick Vision WLI HYPER 404 / 606 Pro
ミツトヨ
画像測定機＋白色光干渉計により、座標寸法測定とナノレベルの3D形状の非接触測定を1台で実現。
次世代微細パターンの量産試作に最適なモデル
特長
● QVWLI ProはQVに白色光干渉計を搭載した複合型の高精度3D計測システムです。
● WLI 光学系で取得した3Dデータから三次元表面性状解析 / 三次元粗さ解析が可能です。
● 3Dデータから指定高さでの寸法測定や断面形状の測定が可能です。
● ストロボ照明を搭載しており、ステージ静定時間を短縮した高スループット測定が可能です。
主な仕様
| 符号 | QVW-H404P1L-E | QVW-H606PL1-E |
| 測定範囲（X×Y×Z） | 400×400×240mm | 600×650×220mm |
| WLI 画像測定範囲（X×Y×Z） | 315×400×240mm | 515×650×220mm |
| 測定精度（EUX,EUY,MPE） | （0.8+2L/1000）µm | （0.8+2L/1000）µm |
| 測定精度（EUXY,MPE） | （1.4+3L/1000）µm | （1.4+3L/1000）µm |
| 測定精度（EUZ,MPE） | （1.5+2L/1000）µm | （1.5+2L/1000）µm |
| 測定物最大積載重量 | 25kg | 35kg |
情報提供元: 株式会社ミツトヨ
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