特長

● Z軸モータドライブモデル
バラつき要因のピント調整を軽減する驚速合焦点モデル。
約1秒というスピードで、測定したい表面にピント合わせが可能な驚速AFを搭載しています。凹凸の多いワークでもわずらわしいピント調整から解放され、ストレスなく測定を行えますので作業者の疲労を大幅に低減できます。 ※ オプションの画像ユニット使用時

● マニュアルモデル
ステージ測定範囲100×100～400×200mmの幅広いラインアップ

● Z軸モータドライブモデル、マニュアルモデル共通仕様
直感的な位置合わせを実現するマニュアルステージを搭載し、手元を確認せずに粗動操作・微動操作を切り換え可能なクイックリリース機能を搭載しています。測定準備に時間がかかりません。

ピント範囲が幅広いために高さ位置が再現しにくい低倍率（10×以下）でも観察倍率が変わらないよう、高さ位置による倍率誤差を低減したテレセントリック光学系を採用しています。また、MFシリーズ用対物レンズは、JIS規格を超える自社独自規格に基づき、より正確な倍率となるように作り込まれているため、レチクルによる比較測定にも最適です。

1-100×までの幅広い対物レンズラインアップすべてで長作動距離を確保しています。これにより、凹凸のあるワーク測定時でもワークへの衝突を気にせず測定ができます。

主な仕様

Z軸マニュアルタイプ		1010	2010	2017	3017	4020
明視野	2軸（X・Y）	MF-A1010D	MF-A2010D	MF-A2017D	MF-A3017D	MF-A4010D
	3軸（X・Y・Z）	MF-B1010D	MF-B2010D	MF-B2017D	MF-B3017D	MF-B4010D
ステージ	測定範囲	100×100mm	200×100mm	200×170mm	300×170mm	400×200mm
	最大積載量	10kg		20kg		15kg
Z軸	送り機構	手動左右両ハンドル（粗動：30mm/回転、微動：0.2mm/回転）
	最大被検物高さ	150mm		220mm

 

Z軸モータドライブ		2017	3017	4020
明暗視野	3軸（X・Y・Z）	MF-J2017D	MF-J3017D	MF-J4020D
ステージ	測定範囲	200×170mm	300×170mm	400×200mm
	最大積載量	20kg		15kg
Z軸	送り機構	電動（送り速度最大：20mm/s）、下限リミット設定
	最大被検物高さ	220mm