特長

● X 軸（駆動部）：80mm/s（MAX）　Z2軸（コラム上下動）：30mm/s（MAX）。移動速度の高速化によりトータル測定時間を短縮します。

● ストローク（退避）のスピードが従来機の約3倍に向上し、一方で安全運転に配慮してスタイラスダウンによるワーク接触はゆっくりと行います。ワーク接触は測定機自身が自動検出し、測定開始可能状態に従来機の3倍速ですばやく移行します。測定者が意識することなく測定時間を大幅に短縮。測定効率がアップします。

● 測定開始位置から測定データ取得開始までの助走距離を極限まで削り、0.05mmを達成しています。測定長さの確保が困難な端面、狭小箇所の測定を強力にサポートします。

● 傾斜面測定を効率よく行うため、傾斜角度±45°の範囲を測定できるX軸駆動部傾斜機構を装備しています。また、輪郭検出器C-4500搭載時には、測定力をデータ処理部（FORMTRACEPAK）から指定（5段階）でき、ウエイトの付け替えや位置調整による測定力の調整作業は不要です。また、傾斜姿勢でも指定した測定力に追従します。［X軸駆動部傾斜角度］

主な仕様

		FTA-S4D3000 / 4000	FTA-H4D3000 / 4000	FTA-W4D3000 / 4000	FTA-L4D3000 / 4000
● 表面粗さ測定時
測定力		0.75mN
Z1軸分解能		0.01µm（800µm）、0.001µm（80µm）、0.0001µm（8µm）
測定範囲	X軸	100mm
	Z軸	800µm、80µm、8µm
真直精度（X軸水平姿勢自） / 評価パラメータ：Pt		（0.05+0.001L）µm　L＝駆動長さ（mm）
● 輪郭形状測定時
指示精度	X軸	±（0.8+0.01L）µm　L＝駆動長さ（mm） 広範囲：1.8µm/100mm、狭範囲：1.05µm/25mm
	Z軸	C-3000　±（1.2+|2H|/100）µm　H＝水平位置からの測定高さ（mm） C-4000　±（0.8+|2H|/100）µm　H＝水平位置からの測定高さ（mm）
測定範囲	Z軸	60mm（水平状態より±30mm）
真直精度（X軸水平姿勢時）		0.8µm/100mm
● 共通仕様
測定範囲（駆動部）	X軸	100mm
Z2軸（コラム）移動範囲		300mm	500mm		700mm
ベースサイズ（W×D）		600×450mm		1000×450mm

 

		FTA-S8D3000 / 4000	FTA-H8D3000 / 4000	FTA-W8D3000 / 4000	FTA-L8D3000 / 4000
● 表面粗さ測定時
測定力		0.75mN
Z1軸分解能		0.01µm（800µm）、0.001µm（80µm）、0.0001µm（8µm）
測定範囲	X軸	200mm
	Z軸	800µm、80µm、8µm
真直精度（X軸水平姿勢自） / 評価パラメータ：Pt		（0.1+0.002L）µm　L＝駆動長さ（mm）
● 輪郭形状測定時
指示精度	X軸	±（0.8+0.015L）µm　L＝駆動長さ（mm） 広範囲：3.8µm/200mm、狭範囲：1.2µm/25mm
	Z軸	C-3000　±（1.2+|2H|/100）µm　H＝水平位置からの測定高さ（mm） C-4000　±（0.8+|2H|/100）µm　H＝水平位置からの測定高さ（mm）
測定範囲	Z軸	60mm（水平状態より±30mm）
真直度精度（X軸水平姿勢時）		2µm/200mm
● 共通仕様
測定範囲（駆動部）	X軸	200mm
Z2軸（コラム）移動範囲		300mm	500mm		700mm
ベースサイズ（W×D）		600×450mm		1000×450mm