真空蒸着装置
IB-29510VET

日本電子

電子顕微鏡用試料作製が容易に行える真空蒸着装置です。

特長

● 高分解能観察に適したカーボン膜が作製できます。
● 各種金属蒸着膜が作製できます。
● 非伝導性材に伝導性を与えるためのコーティング処理ができます。
● シャドーイングによる蒸着が可能です。
● 電子顕微鏡用絞り箔のクリーニングなどの熱処理ができます。

到達圧力	1×10⁻⁴ Pa以下（液体窒素トラップ無し）
圧力測定	B-A真空計およびピラニ真空計
圧力表示	B-A真空計およびピラニ真空計デジタル表示（レンジ自動切替）
ベルジャー	高さ 250mm×外径 250mm　ガラス製
蒸着用電源	AC 10V、50A
蒸着用電極	カーボン棒　ホルダー　1組タンタルボートホルダー　1組ヒーターホルダー　1組（電極間仕切り板付）
予備ポート	1個
シャッター	試料用　1個（手動）
ターボ分子ポンプ（TMP）	240L/s
油回転ポンプ（RP）	100L/min

情報提供元: 日本電子株式会社

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