特長

● 高速加工と仕上げ加工をプログラムすることができます

• • 「自動加工開始モード」… イオンビーム照射と停止を一定間隔で繰り返し、試料の温度上昇を抑えることができます。
  • 「間欠加工モード」… イオンビーム照射と停止を一定間隔で繰り返し、試料の温度上昇を抑えることができます。
  • 「仕上げ加工モード」…　高加速電圧の加工後、低加速電圧の加工に自動で切り替えて、短時間で高品質な断面作製が可能です。特に結晶構造解析のための試料作製に有効です。

主な仕様

● 標準仕様

形式	IB-19530CP
イオン加速電圧	2～8kV
ミリングスピード	500μm/h以上（加速電圧8kV） ※1
試料スイング機能 ※2	±30°自動スイング
自動加工開始モード	設定した圧力値に到達後、自動で加工開始
間欠加工モード	イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能（ON：1～999秒、OFF：1～999秒）
仕上げ加工モード	自動的に加工条件切り替え
広域断面ミリングモード	最大加工幅：8mm（オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH）
最大搭載試料サイズ	断面ミリング	11mm (幅)×10mm (長さ)×2mm (厚さ)（標準付属試料ホルダー）
		25mm (幅)×15mm (長さ)×10mm (厚さ)（オプション：広域加工ホルダー IB-11730LMH）
	平面ミリング	40mm (直径)×15mm (厚さ)（オプション：大形試料回転ホルダーIB-11550LSRH）
試料移動範囲	X軸：±6mm、 Y軸：±2.5mm
操作法	タッチパネル、6.5型ディスプレー
加工位置合わせ法	カメラにより試料ステージ上をモニター※3。 光学顕微鏡下でも加工位置調整可能
位置合わせ用カメラ倍率	約×70（6.5型ディスプレー上）
加工観察用カメラ倍率 ※4	約×20 ～ ×100（6.5型ディスプレー上）（IB-14510MCAM取り付け時）
外部モニター出力 ※4	位置合わせ用カメラと加工観察用カメラを切り替えて外部モニターに表示可能（IB-14510MCAM取り付け時）
プリセット機能	加工条件 (加速電圧、アルゴンガス流量、加工時間、間欠加工）を4組プリセット
寸法・質量	本体	545mm (幅)×550mm (奥行)×420mm (高さ)、約66kg（IB-14510MCAM取り付け時）
	ロータリーポンプ	120mm (幅)×288.5mm (奥行)×163mm (高さ)、約9.3kg

※1　2時間の平均値、Si換算、エッジ距離100µm
※2　特許：第4557130号
※3　特許：第4208658号
※4　IB-14510MCAMを装着すると、試料をリアルタイムでモニターすることができます。ミリング中の試料の状態を観察できます。外部モニターはお客様にてご用意ください。