カーボンコーター
EC-32010CC

日本電子

走査電子顕微鏡などの元素分析用の試料に、カーボン蒸着を行う試料作製装置です。

特長

● 蒸着源には高純度の専用カーボン棒を使用しており、不純物の少ない膜が仕上がります。カーボン棒をクリップ状の電極に簡単にセットすることができます。

● 排気速度3 Paまで10分以内（試料が無い場合）

使用圧力	20 Pa以下
カーボン電極	1組
蒸着源	専用カーボン棒（直径 1mm）
試料台	直径 64 mm
蒸着源－試料台距離	135～165 mm
ベント時間	30秒
排気系	直結型ロータリーポンプ 135 L/min 過温度保護機能組込み
サービスコンセント	1個　AC100V 1A（試料回転傾斜装置用）

本体	卓上設置型　W350 mm×D420 mm×H440 mm 約18 kg
ロータリーポンプ	床置型　W170 mm×D487.5 mm×H249.5 mm 約27 kg

情報提供元: 日本電子株式会社

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