静電容量式変位計
ST-3541

岩崎通信機

ST-3541は、プローブ内に回路を内蔵していない「パッシブ型」を採用しています。このため、安定性を大きく向上させています。
さらに、回路部品がないため小型化がはかれ、組み込みに最適な構造となっています

特長

● 卓越した高安定
この図は25℃に設定された恒温槽内における安定度の測定例です。12時間という長時間にわたり、安定した測定が行われているのが分かります。

● 優れた直線性 0.05%
リニアライザを必要としない、測定方式を用いることで、優れた直線性を実現しました。

● 高分解能測定を実現。最高分解能 0.3nm-rms　
この図は圧電素子を階段状の電気信号で駆動させ、その変位を測定したものです。1nmという小さなステップ信号でも良好に応答確認ができます。

● 真空中での測定が可能
真空対応特注プローブを用いることにより、真空中での変位測定が可能になります。

情報提供元: 岩崎通信機株式会社

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