特長

● 高速測定を実現
フラットフィールドグレーティング及びラインセンサを用いた全波長同時分光測定により、高速測定を実現します。

● 微細部品、レンズの反射率測定に最適
Φ17～70µmの測定エリアで非接触測定を可能にする専用対物レンズを新たに設計しました。通常の分光光度計では測定できない、微細な電子部品やレンズなどの曲面でも、再現性の高い測定を実現します。

● 選べる膜厚測定方法
測定された分光反射率データから単層膜や多層膜の膜厚解析を行います。用途に応じて最適な測定法を選択できます。

主な仕様

	反射率測定	透過率測定 ※1	45度反射測定 ※1
名称	近赤外顕微分光測定機	近赤外顕微分光測定機用	近赤外顕微分光測定機用
		透過測定セット	45度反射セット
型式	USPM-RU-W
測定波長	380～1050nm
測定方法	リファレンス試料に対する比較測定	100%の基準に対する透過率測定	リファレンス試料に対する比較測定
測定範囲	下記対物レンズ仕様を参照	約Φ2.0mm
波長表示分解能	1nm
照明アクセサリー	専用ハロゲン光源　JC12V 55W　（平均寿命700h）
シフトステージ	積載面サイズ：200(W)×200(D) mm
	耐荷重：3 kg
	動作範囲：(XY) ±40mm, (Z) 125mm
チルトステージ	－	積載面サイズ：140(W)×140(D) mm
		耐荷重：1 kg
		動作範囲：(XT) ±1°, (YT) ±1°

※1　オプションユニット

● 対物レンズ

型式	USPM-OBL10X	USPM-OBL20X	USPM-OBL40X
倍率	10×	20×	40×
測定NA ※2	0.12	0.24	0.24
測定範囲 ※3	70µm	35µm	17.5µm
作動距離	14.3mm	4.2mm	2.2mm
試料の曲率半径	±5mm～	±1mm～	±1mm～

※2　測定NAのため、対物レンズのNAとは異なります
※3　スポット径