特長

● 信頼性

• • コンタミネーション解析に専用設計された筐体により高い光学性能を実現
  • コンタミネーション解析用のアルゴリズムにより粒子を逃さず検出
  • 粒子標準デバイスを用いた使用前の日常点検が可能
  • 従来の円形メンブレンフィルターに加え長方形のサンプルに対応

● 操作性

• • 検査プロセスに特化したユーザーインターフェース
  • 電動ユニットを採用し操作のすべてが画面上で完結
  • 対象の規格を選択するだけで検査条件の設定が完了
  • マテリアルソリューションを備えた顕微鏡モード（オプション）による機能拡張が可能
  • 画像解析にディープラーニング技術を活用したCIX100 TruAIソリューション

● 高速性

• • 金属異物と非金属異物を1度のスキャンで検出
  • 観察視野からはみ出す粒子は自動貼り合わせ機能により1つの粒子としてカウント
  • オーバービュー機能によりフィルター全体のコンタミネーション結果がマッピング表示可能
  • 工業規格・社内規格に基づいた検査結果の確認が可能

主な仕様

顕微鏡本体	電動フォーカス	同軸電動ファインフォーカス、3軸ジョイスティック付き ソフトウェアオートフォーカス対応
	照明	内蔵LED照明
	サンプルサイズ	標準付属 ： 直径47mmのフィルターを固定するホルダー
電動X・Yステージ	最大範囲	130×79mm
	繰り返し性	＜ 1µm
	分解能	0.01µm
対応規格		ASTM E1216-11:2016、ISO 4406:2021、ISO 4407:1999、 ISO 4407:2002 [Cumulative and Differential]、ISO 11218:2017、 ISO 12345:2013、ISO 14952:2003、ISO 16232-10:2007 （A,N, and V）、 ISO 16232:2018 （A,N, and V）、ISO 21018:2008、DIN 51455:2020 [70% and 85%]、 NAS 1638:1964、NF E 48-651:1986、NF E 48-655:1989、SAE AS4059:2020、 VDA 19.1:2015 （A,N, and V）、VDA 19.2:2015、VDI 2083-21