ウエハローダ
AL120

エビデント

小径から200mmまでのウエハサイズに対応した、シリコン・化合物ウエハをカセットから顕微鏡ステージに搬送する装置です。極薄化するウエハも対応して、ウエハの安全・効率搬送で半導体後工程での歩留まり、生産性向上に貢献します

特長

● ウエハサイズ、検査内容に応じて最適な1台を選択可能
200mmウエハ専用タイプ、200mm / 150mm兼用タイプ、150mmタイプ（150mm以下のウエハに対応）の3種類を用意しています。

● 薄ウエハ検査
高まる薄ウエハ工程ニーズに応えて、AL120-LMB-90には90µmの薄さのウエハまでをカセット25枚のウエハを搬送できる新型アームを搭載しています。

● 進化したマクロ検査
裏面マクロ検査はキズやゴミを見つけやすい最大360°の傾斜角に対応しています。
360°回転機能を利用することにより、ウエハのエッジ周辺までくまなく目視検査が可能です。また、表面マクロ検査では、手元のジョイスティックで最大30°まで自由に傾けて観察できます。

● 容易な操作性
AL120は最大10件の検査プログラムを登録でき、多様な検査方法に一台で対応できます。この機能を使い特定のカセットやウエハにも対応でき、オペレータはボタンひとつの選択で検査プログラムを切り替えることが可能です。

※ 10種類まで登録可能

情報提供元: 株式会社エビデント

・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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