300mm ウエハローダ
AL120-12
エビデント
FOUPオープナー（Load Port）対応とFOSB対応の2種類をラインアップに持つ300mmウエハローダ
ウエハ条件（薄ウエハ、反ウエハ）に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します
特長
● イージーオペレーション
-
- 自由に設定できる検査モード、後工程向け専用に操作性を考慮した装置デザインなど、使い勝手を重視しました。
- FOUPオープナー（Load Port）対応とFOSB仕様の2機種をラインアップしています。
- 半導体顕微鏡MX61Lと組み合わせて高分解能、高品質の観察を実現します。
- 検査装置中心に配置した操作ユニがエルゴノミーで快適な操作が可能です。
● 高い信頼性、操作性能の継承
-
- 前機種で得た信頼性と安全性を継承し、安全に300mmウエハの自動検査が可能です。
- ウエハ条件（薄ウエハ・反ウエハ）に影響されない搬送系を実現しました。
主な仕様
| 型式 | AL120-LMB12-F | AL120-LMB12-LP3 |
| ウエハサイズ | 300mm（SEMI M1.15 t＝775m） オプション ： 200mm | |
| カセット |
|
|
| 適合顕微鏡 | 半導体検査顕微鏡 MX63L | |
メーカー製品URL:
https://www.olympus-ims.com/ja/microscope/al12012/
情報提供元: 株式会社エビデント
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。