光干渉式膜厚計
IRMS8599シリーズ
チノー
- IRMS8599は測定対象の薄膜に投光し、表面反射光と裏面反射光による干渉から膜厚を測定します。
- 半導体・液晶パネル・太陽電池・LEDパネル・塗工などの製造プロセスに適しています。
- 1µm以下の極薄膜をリアルタイム測定。
特長
● 連続分光方式でFFT解析、CF（カーブフィッテング）解析が可能
● 最大4層を同時計測
● 使用温度0～50℃、IP65（防塵防滴構造）
● IRMS8599Sはアナログ出力にも対応
主な仕様
| 型式 | IRMS8599B | IRMS8599S |
| 測定方式 | 可視・近赤外・連続分光方式 | |
| 測定波長 | 0.4～1µm | |
| 測定範囲 | 20nm～50µm | 20nm～100µm |
| ファイバ | ニ分岐バンドルファイバ | |
| 通信インターフェース | USB | RS-485 |
メーカー製品URL:
https://service.chino.co.jp/jp/serv/products/detail/?did=92
情報提供元: 株式会社チノー
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
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