取扱製品 Product
液中パーティクルセンサ KS-42B/42BF
0.2μm～2.0μmの広範囲な可測中継範囲、高計数効率による、少ないサンプル量で測定が可能。 半導体・液晶ディスプレイ等の製造工程に使用する洗浄液、薬液の清浄度管理に使用されております。
メーカー
：リオン/RION
特長
- 最小可測粒径0.2μm、定格流量10L/min
- 粒径区分：0.2μm～2.0μmの範囲で最大10段階（KE-40B1の機能による）
出荷時：5段階（0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上、1.0μm以上、2.0μm以上） - 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力。
- KS-42BFはサファイアセルを使用
仕様
| 品名 型式 | 液中パーティクルセンサ KS-42B/KS-42BF | |
|---|---|---|
| 光学方式 | 側方散乱方式 | |
| 光源 | 半導体レーザ（波長：780nm、定格出力：40mW） | |
| レーザ製品のクラス | クラス1、IEC60825-1 | |
| 受光素子 | PINタイプ フォトダイオード | |
| 検液部材質 | KS-42B | 合成石英、PFA、PTFE |
| KS-42BF | サファイア、PFA、PTFE | |
| 導入可能な液体 | 接液部を腐食しない液体 | |
| 校正 | 純水中のポリスチレンラテックス（PSL）粒子（屈折率1.6） | |
| 粒径区分 | 5段階（出荷時） | 0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上、1.0μm以上、2.0μm以上 |
| 任意設定 | 1段階から10段階で任意設定、設定はコントローラより行う | |
| 設定範囲 | 0.2μm以～2.0μm | |
| 計数効率 | 70%～110% | |
| 定格流量 | 10mL/min | |
| 最大粒子個数濃度 | 1200個/mL(0.5μmの粒子において、計測損失5%以内) | |
| 試料圧力範囲 | 300kPa（ゲージ圧）以下 | |
| 試料導入口/排出口 | φ2×φ4フレア加工チューブ用継手 | |
| パージ口 | Rc1/8（1/8 PT めねじ） | |
| 入出力端子 | CONTROLLER端子 | KE-40B1と接続 |
| LIQUID LEAK ALARM端子 |
動作正常時は短絡、本器内部で液漏れを検知すると開放になる警報出力端子 | |
| 電源 | DC12V（KE-40B1より供給） | |
| 使用温湿度範囲 | 15℃～30℃、80%RH以下（結露のないこと） | |
| 大きさ・重さ | 125（H）×240（W）×151（D）mm（突起物は除く）・約3kg | |
| 付属品 | チューブA 真空パック×１（φ2×φ4 PFAチューブ片側フレア加工1.5m2本、ユニオン継手1個）、 接続ケーブル（1m）×１ |
|
注釈
■ ご注意 ■
このページに記載されている製品・仕様・価格は改良等のため予告無く変更、あるいは製品製造を中止する事があります。ご購入に際しましては販売価格も含め改めて最新情報を弊社営業よりご確認下さい。
製品登録年月
2020-10
産業種別
- 食品
- 飲料
- 化学製品
- 製薬・医薬品
- 電子・デバイス
測定項目または機能
- 微粒子測定
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