取扱製品 Product
3D測定レーザー顕微鏡 OLS5100
レーザー顕微鏡の新時代 実験準備からレポート作成まで、 トータルでサポートするツールへ進化。実験準備から分析・レポート作成までをこの1 台で完結。誰でも業界最高レベルの測定ができるよう、スマートレンズアドバイザーや専用設計のLEXT専用レンズがあらゆる表面の真の形状を捉えます。
データ取得は設定不要でスタートボタンを押すだけ、「正確さ」と「繰り返し性」などの測定性能を 実際に使用される環境で保証し、サブミクロンオーダーの３D観察・測定や、JISB 0681(ISO25178)に準拠した表面粗さを、非接触・非破壊・スピーディーに測定致します。
メーカー
：エビデント/EVIDENT
特長
＜実験準備から分析・レポート作成までをこの1台で＞
実験準備からレポート作成まで、一連の作業を効率化。 実験計画に沿った画像取得や解析をサポート、かつ測定結果を一括管理。
- データ取得のミスを低減し手戻りを防止《取得データ一覧表示（2条件／条件一覧マトリクス）》
- ファイル名の入力不要《ファイル名自動生成》
- 測定結果の異常値をリアルタイムで可視化《ヒートマップ表示》
＜誰でも業界最高レベルの測定性能を＞
新開発の『スマートレンズアドバイザー』が、サンプルに適したレンズ選定をアシスト。 LEXT専用レンズにより信頼性の高い測定結果を得られます。
- 表面粗さ測定に最適なレンズ選択をアシスト《スマートレンズアドバイザー》
- 視野の全領域を正しく捉える《LEXT専用レンズ》
＜説得力のあるデータを支える先進技術＞
- 卓越した平面分解能《微細なパターンや欠陥を検出》
- MEMSスキャナー《エビデント独自のスキャン技術》
- 4Kスキャンテクノロジー《急峻な斜面形状とナノに迫る微小段差を検出》
- デュアルコンフォーカルシステム《データ取得に最適なチャンネルを自動選択》
- Sqノイズ（測定ノイズ）を保証《より安心してお使い頂くために》
- スマートジャッジ《ありのままの形状を捉えられる》
＜設定不要で高精度な測定を＞
測りたいサンプルをステージに置いて、スタートボタンを押すだけ。 誰でも高精度な測定結果が得られます。
- スタートボタンを押すだけで、誰でも同じアウトプット《スマートスキャンⅡ》
- お客様の使用環境下で測定性能を保証《エビデントならではの標準作業》
＜高精度な測定を実現する技術＞
- PEAKアルゴリズム/スキップスキャン/HDRスキャン《スマートスキャンⅡ》
- トレーサビリティーの確保《安心してお使い頂くために》
- “正確さ”・“繰り返し性”のダブル保証《測定結果を自信を持って提示できる》
- 貼り合わせデータの正確さを保証《ハイブリッドマッチングアルゴリズム》
- 精度管理機能《1クリックで装置の点検が可能》
- ハイブリッド除振機構《設置環境を選ばない高剛性・高耐震性》
＜シンプル操作の高解像・高倍率観察＞
- リアルタイム・マクロマップ機能《もう迷子にならない》
- コンティニュアスAF《ピント合わせの煩わしさを解消》
- 二つの微分干渉によるナノレベルのリアルタイム観察《ナノレベルの凹凸が分かる》
- リアルカラーHDR観察《より鮮明に観察できる》
- デュアル観察《リアルカラー & レーザー観察》
- 豊富なデータ取得モード《多様な測定に対応した》
- 貼り合わせモード《広視野・高分解能な測定が可能》
- 最表面検出フィルター《透明膜の最表面形状解析》
- バンドスキャン《必要な領域を高速にデータ取得可能》
- 超高精細モード《より微細な傷や凹凸を捉えることができる》
＜オペレーターによるばらつきを極限まで抑えた解析機能＞
- かんたん解析《測りたい領域を指定するだけ》
- 自動補正機能《1クリックで最適補正》
- プロファイル測定《1クリックで最適補正》
- プロファイルアシストツール《狙った場所に測定線を引ける》
- 測定アシストツール《測定点を確実に指定できる》
＜豊富な解析& レポート機能＞
- 線粗さ測定《JIS B0601（ISO4287）準拠》
- 面粗さ測定《JIS B0681（ISO25178）準拠》
- 平面計測《厳密な位置指定が可能》
- 面間段差解析《基準面との比較が容易》
- 差分解析《2つのデータ間の違いが分かる》
- 面積・体積測定《複数の凹凸も自動検出》
- ヒストグラム解析《ピークの自動検出も可能》
- 自動球・面角度解析《球の径や面角度を自動測定》
- 自動エッジ測定《幅や高さを自動で測定》
- 粒子解析《粒子の径や重心を自動で測定》
- 膜厚測定《透明体の厚みを測定できる》
- まとめて解析《複数の取得データを比較解析》
- OLYMPUS Stream《より専門的な解析が可能》：オプション
- レポート出力《自在にレイアウト可能》
- 画像処理履歴《やり直しや取り消しも可能》
- CADデータ出力《設計データとの比較解析》
＜自動化機能＞
- 解析テンプレート機能《解析作業を自動化》
- 自動位置補正機能《基準サンプルとの位置合わせ機能》
- アライメント機能《繰り返しの検査に便利》
- 複数エリアデータ取得《複数の位置で一括データ取得》
- マクロ機能《検査フローを全自動化》
＜サンプル対応力・汎用性＞
- 豊富な対応レンズ《多様なサンプルや測定に》
- LEXT専用低倍&長作動距離レンズ《安心の測定性能保証付き》
- 大型フレーム・ステージ《カスタム仕様にも対応》
仕様
| 名称 | 3D測定レーザー顕微鏡 OLS5100 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | OLS5100-SAT | OLS5100-SMT | OLS5100-LAT | OLS5100-EAT | |
| 総合倍率 | 54X – 17,280X | ||||
| 視野サイズ | 16μm – 5,120μm | ||||
| 測定原理 | 検鏡方式 | 反射型共焦点レーザー顕微鏡画像、反射型共焦点レーザー微分干渉顕微鏡画像、 カラー画像、カラー微分干渉画像 （ポラライザ、アナライザユニットは本体に内蔵） |
|||
| 光検出器 | レーザー: 光電子増倍管 （2系統）、カラー: CMOSカメラ | ||||
| 高さ測定 | 表示分解能 | 0.5nm | |||
| ダイナミックレンジ | 16 bit | ||||
| 繰り返し性 σn-1 | 5X：0.45μm, 10X：0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm | ||||
| 正確さ | 0.15 + L/100μm （L: 測定長[μm]） | ||||
| 正確さ （貼り合わせデータ） |
10X：5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm （L: 貼り合わせ高さ[μm]） |
||||
| 測定ノイズ （Sqノイズ） | 1nm [Typ] | ||||
| 幅測定 | 表示分解能 | 1nm | |||
| 繰り返し性 3σn-1 | 5X：0.4μm, 10X：0.2μm, 20X：0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm | ||||
| 正確さ | 測定値の±1.5%以内 | ||||
| 正確さ （貼り合わせデータ） |
10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm （L: 貼り合わせ長さ[mm]） |
||||
| 最大取得データ解像度 | 4096 x 4096 ピクセル | ||||
| 最大貼り合わせデータ画素数 | 36百万ピクセル | ||||
| XYステージ | 測長モジュール | ○ | – | – | ○ |
| 駆動範囲 | 100 x 100mm 電動 | 100 x 100mm 手動 | 300 x 300mm 電動 | 100 x 100mm 電動 | |
| サンプル最大高さ | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | |
| レーザー光源 | 波長 | 405nm | |||
| 最大出力 | 0.95 mW | ||||
| クラス | Class 2 （JIS C6802:2014） | ||||
| カラー光源 | 白色LED | ||||
| 消費電力 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | |
| 質量 | 顕微鏡本体 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg |
| コントロールボックス | 約 12 kg | ||||
注釈
※ 掲載の製品仕様は掲載スペースの関係で備考が省略されている場合があります。
※ このページに記載されている製品・仕様等は改良等のため予告無く変更、あるいは製品製造を中止する事があります。ご購入に際しましては販売価格も含め改めて最新情報を弊社営業よりご確認下さい。
製品登録年月
2021-01
産業種別
- 航空・宇宙開発
- 新エネルギー
- 化学製品
- プラ製品
- 窯業
- めっき
- 金属製品
- 機械
- 電子・デバイス
- 電気機械
- 電気製品
- 自動車
測定項目または機能
- 微小測定
- 微小観察
- 微小三次元測定
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