特長

● 1 fAから20 mAまでの広範囲電流測定
最小分解能1 fA からの微少電流測定が可能なため、MOSFET のゲート電流などの半導体リーク電流測定や、光デバイスの暗電流測定に対応できます。また、最大電流測定値は20 mAと広域であるため、小信号トランジスタやダイオードなどのI_B-V_BE、I_C-V_BE 特性の評価にも適しています。

● 高入力インピーダンス電圧測定
高出力インピーダンスの電圧測定で一般的な電圧計を使用すると、電圧計の入力インピーダンス（10⁹ Ω 程度）が影響し測定値に誤差を与えます。しかし、5350 は10¹³ Ω以上の高入力インピーダンスをもっているため、一般的な電圧計に比べて被測定物の出力インピーダンスの影響が1/10,000 に低減され高確度な測定ができます。

● ドライビング・ガードによる高速電圧測定
直流電圧測定では被測定物の出力インピーダンスが大きな場合（100 MΩ 以上）、入力ケーブルの浮遊容量によってレスポンスが遅くなります。5350 は2重シールド構造の入力コネクタ、入力ケーブルを採用することによって内側シールドを5350 の入力電圧と同電位で駆動しています。このドライビング・ガード機能によって、入力ケーブルの中心線と外側シールドの浮遊容量が見かけ上ゼロとなりレスポンスの向上を実現しています。

主な仕様

表示桁数		5 1/2桁
電圧測定	入力インピーダンス	1013Ω
	測定範囲	1 µV～20 V
電流測定	測定方式	フィードバック
	測定範囲	1 fA～20 mA
サンプリング速度		1000回/秒