世界初!高精度保証の白色干渉計搭載 レーザー顕微鏡

あらゆる表面解析において信頼性の高い測定をご提供します

はじめに

エビデントは、2025年11月7日にレーザー顕微鏡・白色干渉計・フォーカスバリエーションの3つの技術を1台に搭載した「LEXT OLS5500」を新発売しました。nmからmm、平滑面から凹凸のある面まであらゆるサンプルに対応し、従来の装置では捉えきれなかった微細な表面性状をこれまでにない鮮明さで可視化します。
OLS5500のポイントは、何と言ってもレーザー顕微鏡および白色干渉計の両方において「正確さ」と「繰り返し性」を保証する、世界初!の白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡であるということです。エビデントの揺るぎない測定品質により、高精度で信頼できるデータをご提供します。皆さまが抱える課題解決のためのヒントになれば幸いです。

登場人物紹介

 
 

新!3-in-1のハイブリッドなレーザー顕微鏡

ENDOさんは以前、レーザー顕微鏡を使用しているCさんから以下のようなお悩みをお聞きしました。

現在使用している装置は購入から数年経過していて、最近の厳しい精度要求に対して本当に正しいデータが出せているのか不安です。 更新を機に、もっと測定精度の高いものにしたいと思っています。
また、評価の幅を広げるために白色干渉計の機能も欲しいので、今回は他社製品を検討しているところです。

そこで、他社製品を凌駕するレーザー顕微鏡の新製品がエビデントから発売されたことを知ったENDOさんはCさんにぴったりだ!と思い、ご紹介に伺いました。

それではさっそく、新発売のOLS5500のご紹介をさせていただきます!
OLS5500は、従来のレーザー顕微鏡だけでなく白色干渉計・フォーカスバリエーションも含めた3つの技術を1台に搭載した、新しいレーザー顕微鏡です。

\ POINT 1 / 1台でnmからmm、フラットな鏡面から凹凸形状まで対応!

OLS5500は、レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの機能を1台に搭載。
各測定技術の特長を活かし、微細な構造やわずかな凹凸、透明素材や低コントラストのサンプルなど、あらゆるサンプルの表面情報を可視化します。


1台で様々なサンプルの測定ができて、解析の幅が広がりそうです!
スムーズに使い分けができるので、作業がとてもラクになりますよ!
ただ、今回Cさんに一番お伝えしたかったのは、OLS5500はレーザー顕微鏡、白色干渉計の両方で「正確さ」と「繰り返し性」を保証する“業界唯一”の製品であるということです。

\ POINT 2 / 業界初!揺るがない測定品質を保証します

測定器において最も重要なことは、実際の測定環境下で正しく装置が動作することです。
OLS5500は、レーザー顕微鏡と白色干渉計の両方で「正確さ」と「繰り返し性」を保証する、世界初の白色干渉計搭載3D測定レーザー顕微鏡です。
エビデントの専門技術者が設置環境での校正を行い、校正証明書を発行します。

これなら自信を持って測定データを提出することができますね!
測定環境で校正はできないと思っていたのでとても嬉しいです。
測定環境下での精度保証ができるのは、他にはないエビデントだけの特長です。
これだけでなく、OLS5500はレーザー顕微鏡・白色干渉計の両方で高さ測定ノイズを保証している唯一の装置なんです!

\ POINT 5 / 業界初!高さ測定ノイズ(Sqノイズ)も保証します

ISO 25178-700:2022に準拠した測定ノイズレベルを保証します。
レーザー顕微鏡では1nm、白色干渉計では0.08nmという極めて低いノイズレベルを達成し、微細な凹凸や形状変化も高精度に捉えます。

nmオーダーの高さ測定でも忠実なデータを測定できるんですね。
OLS5500なら私の日頃の悩みを解決してくれそうです!
また、エビデントは100年以上にわたって培った光学技術を搭載した、自社設計・開発の対物レンズを使用しているので、高精度な測定を実現します。
今回は、白色干渉用に高NAの対物レンズが新開発されました!

\ POINT 4 / 複雑形状でも信頼性の高い測定を実現! 新開発WLI対物レンズ 

同等倍率を持つ一般的なWLI対物レンズよりも高い開口数(NA)を備えており、より多くの光を取り込むことができます。
これにより、平面から複雑な凹凸、急な傾斜や微細な質感、白色干渉計が苦手としている複雑な3D構造まで高精度に可視化します。

従来の対物レンズとの違いが一目瞭然です!サンプルの形状を忠実に可視化してくれていますね。
今までは捉えられなかった斜面もきれいに捉えられるようになります!
また、OLS5500は『インテリジェントシェーディング補正』機能を搭載しているので、貼り合わせ画像がとてもきれいです。さらに、レーザー顕微鏡・白色干渉計の両方において貼り合わせ画像の正確さを保証しているので、信頼性の高い画像を得ることができます。

\ POINT 5 / 正確さが保証された、きれいな貼り合わせ画像

● インテリジェントシェーディング補正
低コントラストのサンプルや明るさにムラがある場合でも、貼り合わせ撮影時の画像の継ぎ目が目立たないよう自動補正します。
 

● 貼り合わせデータの正確さを保証
従来の顕微鏡は、パターンマッチングのみで画像を貼り合わせているため、低コントラストのサンプルの場合など貼り合わせに失敗することがあります。
OLS5500では電動ステージに測長モジュールを搭載することで、貼り合わせ撮影時の位置情報を取得します。パターンマッチング処理と位置情報を併用することで、LSM・WLIの両方において貼り合わせデータの正確性を保証します。
※ 貼り合わせデータの正確さの保証は、100 mm電動ステージにのみ適用されます。
 

レーザー顕微鏡・白色干渉計ともに正確さが保証された貼り合わせデータが提供できるのは、OLS5500が業界唯一です!
OLS5500は業界唯一の特長がたくさんあるんですね!新世代のレーザー顕微鏡であることがよく分かりました。
上司に導入の相談をしてみます!
ありがとうございます!
これだけ魅力的なOLS5500、従来機OLS5100をお持ちの方も使いたい!とお思いなのではないでしょうか?そんな方もご安心ください!白色干渉計の追加ユニットをご購入いただければ、新たに購入するよりも安く、白色干渉計の機能をご使用いただけます。

\ POINT 6 / OLS5100へ白色干渉計機能を追加できます

OLS5100は、OLS55-BSWへのバージョンアップとオプションユニット追加購入によって、白色干渉機能を追加することができます。
※ システムのメンテナンス期間は、元の本体と同じとなります。 ただし、追加のユニットはそのユニットのメンテナンス期間に従います。
※ OLS5000は追加不可です

進化した新しいOLS5500、期待大です!!
 
 
出典:エビデント HP

 

この記事に関する参考資料

カタログ : 白色干渉計搭載 3Dレーザー顕微鏡_OLS5500_Brochure_10-2025

 

白色干渉計搭載 3Dレーザー顕微鏡 LEXT OLS5500の製品詳細ページ

https://www.endokagaku.co.jp/catalog/product/evident_ols5500

〇 ENDO取り扱い レーザー顕微鏡 / 白色干渉・その他 一覧は こちら をご覧ください。

 

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