Tegramin導入で試料加工時間が20時間から約1時間30分に

株式会社ストルアス / 研磨・琢磨装置 Tegramin

セラミックス基板の研究開発では、微細組織と特性を関連づけるために、研磨面のクラックや脱落を防ぎながら表面加工を行い、微細組織観察を行うことが重要です。イオンミリングはこの目的に適していますが、試料作製から加工までに時間がかかり、観察可能な範囲が限られるという制約があります。

そこで、株式会社U-MAPでは、一度に複数の試料を広範囲に加工できる機械研磨・琢磨装置 Tegraminへの切り替えを検討しました。しかしながら、通常のセラミックスの研磨条件での研磨では、加工中にクラックや脱落が頻繁に発生し、イオンミリングと同等の研磨結果を得ることが困難でした。

■ 事例 紹介動画（4:19）

■ 結果 ： Tegraminの導入とストルアスのコンサルテーションでセラミックス基板の研磨方法の確立および、作製時間の削減が実現しました。
ストルアスで開発された研磨条件で仕上げた試料は、イオンミリングで加工した試料と同等の品質が得られました。また、この研磨条件を用いた試料作製工程では、広範囲かつ同時に複数個の試料を研磨できるため、従来の方法では、20時間かかっていた10個の試料の加工を約1時間30分で行うことが可能となりました。1時間あたりの試料加工数は、0.5個から約6.67個に増加し、結果として、大幅な生産性の向上が実現しました。

出典 ： U-MAP_Tegramin導入事例カタログ

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