特長

● リアルワールドの試料を効率的に解析　～EDSで汎用性の高い観察と高速イメージングを実現～

• Sigma 560のクラス最高のEDSジオメトリにより、解析の生産性が向上します。180°正反対に位置する2つのEDSポートが、低ビーム電流や低加速電圧においても優れたスループットとシャドーフリーマッピングを保証します。
• EBSDとWDS用のポートをチャンバーに追加することで、EDSをさらに上回る解析が可能になります。
• 新しいNanoVP liteモードにより、非導電体に対しても高いシグナルとコントラストで解析が可能です。

● In situ実験の自動化　～無人検査のための完全統合型ラボを実現～

• 完全統合型ソリューションであるSigma向けin situラボは、自動化されたワークフローで、無人の加熱・引張試験の結果を取得します。
• 3DのSTEMトモグラフィーやAIベースの画像セグメンテーションなど、ナノスケールの3D解析によってワークフローをさらに拡張可能です。

● イメージングが困難な試料にも対応　～1kV以下で強みを発揮～

• 1kV、500Vでも豊富な情報量のイメージング・解析を実現：Sigma 560の低電圧分解能の仕様は500Vで1.5nmです。
• 新しいNanoVP liteモードでは、低真空などの困難な条件でも新たに搭載されたaBSDまたはC2D検出器を使用することで、最低3kVの低加速電圧で観察が可能です。
• 電子機器の調査をするには、クリーンな環境を維持する必要があります。プラズマクリーナー（推奨）や、6インチウェーハのシャトル化を可能にする大型エアロックを使用することで、チャンバーを不純物による汚染から保護できます。