特長

● 直感的なイメージングワークフロー　～セットアップからAIによる結果取得まで～

• 初心者でも専門知識に基づいた結果取得が可能です。使いやすく覚えやすいワークフローにより、ナビゲーションから後処理までの各ステップが効率化され、高速イメージングを実現します。また、トレーニングに必要な時間も短縮できます。
• ZEISS SmartSEN Touchのソフトウェア自動化によって、ナビゲーション、パラメータ設定、画像取得を開始できます。
• ここで、タスク固有のツールキットを備えた、後処理に最適なZEN coreが役立ちます。最も推奨されているのは、機械学習に基づく画像のセグメンテーションが可能なAI Toolkitです。Connect Toolkitではマルチモーダル実験を組み合わせられます。また、Materiales Appsによる微細構造、粒径、層厚の解析も可能です。

● 1kV以下でも強みを発揮　～優れた解像度と最適なコントラスト～

• イメージング・解析パフォーマンスの鍵となるのは光学カラムです。ZEISS Gemini 1 電子光学系を搭載したSigmaは、特に低加速電圧において、あらゆる試料に対して優れた分解能を発揮します。
• Sigma 360の低電圧分解能の仕様は、1.9nmで500Vになりました。色収差を最小限に抑えることで、1kVの分解能が10%以上向上しています。
• 低真空モードでの後方散乱検出や観察が困難な試料でも、これまで以上にイメージングが容易になりました。

● 非常に困難な条件でもVPイメージングを実現　～解析・イメージング用NanoVP liteモード～

• 新登場にNanoVP liteモードと新しい検出器が、5kV以下における非導電体からの高品質データの取得を簡素化します。
• 強化されたイメージングとEDS解析により取得時間が短縮され、表面感度の高い情報と、高速EDSマッピングのための一次ビーム電流が提供されます。
• aBSD1（環状後方散乱電子検出器）や次世代C2D（カスケード電流検出器）など新しい検出器を使用することで、低加速電圧でも優れたイメージングが可能です。