特長

●1kV以下でのイメージングが容易に

• Gemini 3は、試料バイアスやモノクロメーションを必要とせずに、1 kV以下かつ1 nm以下の分解能で磁場フリーイメージングが可能です。ナノツインレンズと新たな電子光学エンジンであるSmart Autopilotを搭載しています。
• 新たな低真空モードと検出システムによる非導電性物質のイメージング：VPモードの新たなGentle Airlock機能で真空感受性の高い試料をチャンバーに移動し、試料本来の特性を維持しながら迅速に結果を得ることができます。
• デュアルEDSポートを備えた新しい大型チャンバーを活用して、繊細な試料を簡単に解析できます。検出器の最適な立体角により、影のない高速マッピングが可能です。

●専門知識を統合

• 大幅に拡大した視野を活かして、簡単に試料のナビゲーションを行うことができます。
• 新たな電子光学エンジンのSmart Autopilotによって、困難な試料のイメージングが実現します。電子光学系が等倍以下～最大50万倍の倍率を提供し、アライメント、校正、フォーカスを行うことで時間を節約することができ、手間のかかるアラインメントは過去のものとなります。特許取得済みの視差に基づいたオートフォーカスを新たに搭載し、新しい自動ウォブル機能により、数秒以内にクリアで鮮明な画像を得ることができます。

●独自のコントラスト

• 適切な観察条件を見つけるには、適切なパラメータの組み合わせを見つける必要があり、容易ではありません。磁場フリーのイメージングと新しいGemini 3コラムを備えたGeminiテクノロジーは、これらのスイートスポットを見つけ、新しい情報を発見します。
• 試料にかかる磁場が2 mTと非常に小さいため、簡単に磁気コントラストイメージングを実行できます。エネルギー選択型Inlens後方散乱検出器によるエネルギー選択イメージングと、環状後方散乱検出器による電子角度選択イメージングが可能です。
• すべてのデータをZEN Connectでまとめ、調査結果をセグメンテーションしてレポートすることができます。